9、4.防、排、烟9,4、3、薄膜晶体管液晶显示器厂房洁净室.区,具有大体量,大面积 人员密度小的特点。而其关键工艺设备均设有很完善的安全设施 且此类洁净厂房内各种公用动力 净化空调。工艺排气和废气管道 高纯物质供应设施等管线较多。布置复杂。使机械排烟管线的布置比较困难、为此作了本条规定 9。4.4.洁净室 区。的排烟系统与室外大气相通。且平时不运行、为了防止室外空气对洁净室,区 环境的影响 应设置防止室外气流倒灌的措施。排烟风机需要定期进行巡检.为了避免对洁净室,区,内空气的污染、影响正常的生产,一般在进入排烟风机前设计旁路系统用于平时巡检、9,4.5,洁净室 区.内的排烟风管、包括洁净送风静压箱、下技术夹层 回风夹道,墙,内的排烟风管,如直接采用产尘的保温材料。在施工过程中,保温材料的纤维会在空气中飞扬,难以清除,从而对洁净空气造成污染 影响室内洁净度等级、且降低了送风末端过滤器的使用寿命.
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