14.空间管理14。1,一般规定14 1,1.空间管理设计应符合下列规定,1。工艺设备平面布置,运行.维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高 2,一般给水排水.纯水 工艺冷却循环水。废水处理,消防等设备外形尺寸,平面布置。运行。维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高,3。洁净 采暖。送风。排风。冷冻水等设备的外形尺寸,平面布置,运行。维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高、4,冷,热源。大宗气体供应,压缩空气站。真空泵房、特种气体站房内设备的外形尺寸.平面布置,运行,维修。安装及主要配管应满足最小安全距离及占用标高,5、化学品供应及回收设备外形尺寸 平面布置,运行.维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高.6.电气设备。照明灯具等设备的平面布置和电缆桥架 母线槽等配管应满足最小安全距离及占用标高。14、1 2,洁净生产层净高应按工艺设备和物料运输设备尺寸。微环境装置及洁净气流控制等因素确定、阵列.彩膜.成盒区域不宜低于4m 模组区域不宜低于3m,14.1、3,下技术夹层净高应按照工艺辅助设备尺寸及其搬入高度、管线布置,洁净气流控制等因素确定,不宜低于4m.14、1 4,上技术夹层净高应按照空调设备,管线布置、洁净气流控制等因素确定.不宜低于3m,
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