14、空间管理14,1,一般规定14,1.1 空间管理设计应符合下列规定。1.工艺设备平面布置,运行。维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高 2。一般给水排水 纯水。工艺冷却循环水、废水处理、消防等设备外形尺寸、平面布置,运行、维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高.3.洁净,采暖,送风 排风.冷冻水等设备的外形尺寸,平面布置,运行.维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高。4,冷 热源,大宗气体供应。压缩空气站、真空泵房、特种气体站房内设备的外形尺寸,平面布置、运行。维修,安装及主要配管应满足最小安全距离及占用标高、5,化学品供应及回收设备外形尺寸。平面布置,运行,维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高,6,电气设备,照明灯具等设备的平面布置和电缆桥架 母线槽等配管应满足最小安全距离及占用标高。14,1,2,洁净生产层净高应按工艺设备和物料运输设备尺寸。微环境装置及洁净气流控制等因素确定,阵列.彩膜、成盒区域不宜低于4m.模组区域不宜低于3m。14 1.3 下技术夹层净高应按照工艺辅助设备尺寸及其搬入高度.管线布置,洁净气流控制等因素确定,不宜低于4m,14、1,4,上技术夹层净高应按照空调设备,管线布置。洁净气流控制等因素确定,不宜低于3m.

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