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- 薄膜晶体管液晶显示器工厂设计规范 GB 51136-2015
- 1 总 则
- 2 术 语
- 3 基本规定
- 4 工 艺
- 5 厂址选择及总体规划
- 6 建 筑
- 7 结 构
- 8 气体动力
- 9 供暖、通风、空气调节与净化
- 10 给水排水
- 11 电 气
- 12 防 静 电
- 13 化 学 品
- 13.1 一般规定
- 13.2 化学品储存和配送
- 13.3 管材、阀门
- 13.4 化学品废液收集回收
- 14 空间管理
- 附录A 薄膜晶体管液晶显示器生产工艺流程
- 附录B 微振动标准VC曲线
- 本规范用词说明
- 引用标准名录
- 条文说明
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13.3。管材，阀门13。3，1、化学品供应系统管道材质选用应按所输送的化学品物理化学特性和品质要求确定 应选择化学稳定性能和相容性能良好的材料 13。3 2,对多台工艺设备供应同一种化学品时。化学品输送管路系统应设置分配阀箱,并应设置泄漏检测报警系统.13，3,3 输送非腐蚀性有机溶剂的管道材质宜采用低碳不锈钢管、并应采取防静电接地措施 输送酸、碱类和腐蚀性有机溶剂管道材质宜采用塑料管，并应设置防泄漏保护套管 用于管道系统的垫片宜采用与所输送化学品相容的材料.13，3。4，阀门和附件的材质应与管道材质一致，