11,3.管道安装,主控项目11。3,2 稀有系统冷箱内阀门公称直径很小、很容易堵塞,影响稀有系统的调试、整个系统的管道应有很高的清洁度 多次吹扫能清除杂质。保证系统清洁.一般项目11。3,7.稀有气体系统低温液体管道采用套管绝热。套管的连接方式有法兰连接、焊接连接两种方式 为了保证绝热效果、套管连接要求很好的密封,

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