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13 11。稀有气体真空泵13,11、1 稀有气体真空泵试运转前应符合下列要求.1。各润滑部位加注润滑剂的规格和数量应符合设计技术文件的规定,2.泵试运转前应盘车灵活 并应无阻滞。3。驱动机的转向应与泵的转向相符、4 各指示仪表、安全保护装置及电控装置均应灵敏.准确,可靠,检查数量,全数检查.检验方法。观察检查.13,11 2,稀有气体真空泵试运转应符合下列要求。1。稀有气体真空泵连续试运转时间不应少于30min,2、轴承的温度和温升应符合设计技术文件的规定.3、试运转中应无异常的声响和振动、各连接部位应严密无泄漏 4 检查泵的极限真空度。真空度应符合设计技术文件的规定、5 停泵前应关闭吸气口处阀门.并应使泵与真空系统隔绝,6。抽吸气体中含有较多的可凝性蒸汽时,应打开泵的气镇阀,检查数量,全数检查 检验方法。观察检查,用测温仪 计时器。真空计测量,
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