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13。11、稀有气体真空泵13。11 1,稀有气体真空泵试运转前应符合下列要求,1。各润滑部位加注润滑剂的规格和数量应符合设计技术文件的规定。2,泵试运转前应盘车灵活、并应无阻滞。3、驱动机的转向应与泵的转向相符。4,各指示仪表,安全保护装置及电控装置均应灵敏 准确 可靠 检查数量,全数检查,检验方法。观察检查 13,11、2,稀有气体真空泵试运转应符合下列要求,1,稀有气体真空泵连续试运转时间不应少于30min。2。轴承的温度和温升应符合设计技术文件的规定、3,试运转中应无异常的声响和振动 各连接部位应严密无泄漏.4。检查泵的极限真空度。真空度应符合设计技术文件的规定 5 停泵前应关闭吸气口处阀门.并应使泵与真空系统隔绝.6。抽吸气体中含有较多的可凝性蒸汽时.应打开泵的气镇阀,检查数量.全数检查、检验方法,观察检查,用测温仪 计时器,真空计测量
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