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13 11、稀有气体真空泵13。11、1 稀有气体真空泵试运转前应符合下列要求.1,各润滑部位加注润滑剂的规格和数量应符合设计技术文件的规定、2.泵试运转前应盘车灵活,并应无阻滞 3。驱动机的转向应与泵的转向相符,4、各指示仪表,安全保护装置及电控装置均应灵敏.准确.可靠、检查数量,全数检查,检验方法、观察检查、13.11,2,稀有气体真空泵试运转应符合下列要求。1,稀有气体真空泵连续试运转时间不应少于30min 2。轴承的温度和温升应符合设计技术文件的规定.3、试运转中应无异常的声响和振动 各连接部位应严密无泄漏、4、检查泵的极限真空度 真空度应符合设计技术文件的规定、5 停泵前应关闭吸气口处阀门,并应使泵与真空系统隔绝、6、抽吸气体中含有较多的可凝性蒸汽时 应打开泵的气镇阀 检查数量、全数检查、检验方法,观察检查,用测温仪。计时器。真空计测量.
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