11.2.氖氦提取设备11,2、1，除氢装置安装允许偏差应符合表11、2 1的规定、检查数量.全数检查,检验方法.应符合表11.2，1的规定,表11,2，1,除氢装置安装允许偏差和检验方法11 2,2.除氢装置的吸附器.催化器在装填前应干燥，洁净 吸附剂、催化剂的规格和填充量应符合设计技术文件的规定、吸附剂、催化剂应按设计技术文件的规定进行活化,检查数量.全数检查、检验方法、观察检查.11、2、3.氖氦储气罐安装允许偏差应符合表11、2 3的规定,检查数量。全数检查，检验方法。应符合表11,2 3的规定、表11,2。3.氖氦储气罐安装允许偏差和检验方法11，2,4。氖氦储气罐安装前内部应干燥、洁净.安装后应作气密性试验、试验压力应为工作压力,停压24h不应泄漏，检查数量。全数检查,检验方法、观察检查，用压力表测量,11、2.5。除氮装置允许偏差应符合表11,2、5的规定，检查数量 全数检查 检验方法、应符合表11，2,5的规定，表11、2，5、除氮装置安装允许偏差和检验方法.11.2.6、真空泵安装允许偏差应符合表11，2。6的规定。检查数量,全数检查，检验方法,应符合表11。2 6的规定、表11。2，6.真空泵安装允许偏差和检验方法。11.2。7、氖氦气体压缩机安装、膜式压缩机、安装允许偏差 应符合表11,2.7的规定，检查数量.全数检查.检验方法、应符合表11,2，7的规定、表11。2。7、膜式压缩机安装允许偏差和检验方法.11，2 8,氖氦分离装置安装允许偏差应符合表11、2，8的规定.检查数量 全数检查 检验方法.应符合表11.2。8的规定、表11，2、8 氖氦分离装置安装允许偏差和检验方法