11,2.氖氦提取设备11.2,1,除氢装置安装允许偏差应符合表11,2、1的规定,检查数量 全数检查,检验方法,应符合表11、2.1的规定,表11.2。1、除氢装置安装允许偏差和检验方法11 2,2,除氢装置的吸附器。催化器在装填前应干燥.洁净、吸附剂,催化剂的规格和填充量应符合设计技术文件的规定 吸附剂.催化剂应按设计技术文件的规定进行活化。检查数量.全数检查、检验方法、观察检查、11.2.3,氖氦储气罐安装允许偏差应符合表11.2,3的规定。检查数量,全数检查,检验方法。应符合表11,2.3的规定 表11.2,3,氖氦储气罐安装允许偏差和检验方法11 2 4、氖氦储气罐安装前内部应干燥,洁净,安装后应作气密性试验 试验压力应为工作压力、停压24h不应泄漏 检查数量,全数检查,检验方法、观察检查.用压力表测量。11、2、5。除氮装置允许偏差应符合表11、2。5的规定。检查数量 全数检查。检验方法。应符合表11,2,5的规定,表11、2 5。除氮装置安装允许偏差和检验方法,11、2、6。真空泵安装允许偏差应符合表11.2,6的规定、检查数量,全数检查、检验方法。应符合表11,2 6的规定 表11.2,6。真空泵安装允许偏差和检验方法、11.2、7。氖氦气体压缩机安装,膜式压缩机 安装允许偏差、应符合表11、2。7的规定.检查数量,全数检查、检验方法.应符合表11.2。7的规定.表11,2.7.膜式压缩机安装允许偏差和检验方法。11.2.8,氖氦分离装置安装允许偏差应符合表11、2,8的规定,检查数量,全数检查,检验方法、应符合表11,2 8的规定、表11、2,8,氖氦分离装置安装允许偏差和检验方法