11。2，氖氦提取设备11。2，1,除氢装置安装允许偏差应符合表11.2，1的规定，检查数量，全数检查,检验方法,应符合表11,2 1的规定，表11。2。1。除氢装置安装允许偏差和检验方法11、2 2.除氢装置的吸附器 催化器在装填前应干燥、洁净,吸附剂，催化剂的规格和填充量应符合设计技术文件的规定.吸附剂，催化剂应按设计技术文件的规定进行活化,检查数量、全数检查,检验方法、观察检查、11、2，3 氖氦储气罐安装允许偏差应符合表11.2。3的规定,检查数量 全数检查、检验方法,应符合表11.2,3的规定。表11，2 3 氖氦储气罐安装允许偏差和检验方法11。2、4.氖氦储气罐安装前内部应干燥 洁净,安装后应作气密性试验 试验压力应为工作压力.停压24h不应泄漏、检查数量。全数检查，检验方法，观察检查 用压力表测量 11、2，5.除氮装置允许偏差应符合表11，2、5的规定。检查数量，全数检查、检验方法,应符合表11、2,5的规定。表11。2,5、除氮装置安装允许偏差和检验方法,11、2.6.真空泵安装允许偏差应符合表11，2、6的规定。检查数量，全数检查。检验方法。应符合表11.2、6的规定,表11、2.6。真空泵安装允许偏差和检验方法、11。2,7,氖氦气体压缩机安装.膜式压缩机 安装允许偏差、应符合表11，2,7的规定.检查数量。全数检查,检验方法 应符合表11.2、7的规定、表11 2、7、膜式压缩机安装允许偏差和检验方法，11、2、8，氖氦分离装置安装允许偏差应符合表11。2，8的规定,检查数量，全数检查。检验方法,应符合表11，2。8的规定 表11.2.8。氖氦分离装置安装允许偏差和检验方法