11,2。氖氦提取设备11,2。1，除氢装置安装允许偏差应符合表11,2,1的规定。检查数量 全数检查.检验方法，应符合表11,2 1的规定，表11,2 1。除氢装置安装允许偏差和检验方法11.2,2、除氢装置的吸附器，催化器在装填前应干燥,洁净.吸附剂。催化剂的规格和填充量应符合设计技术文件的规定，吸附剂 催化剂应按设计技术文件的规定进行活化,检查数量 全数检查 检验方法。观察检查 11，2，3,氖氦储气罐安装允许偏差应符合表11、2,3的规定、检查数量。全数检查,检验方法.应符合表11,2,3的规定、表11，2。3、氖氦储气罐安装允许偏差和检验方法11.2，4.氖氦储气罐安装前内部应干燥、洁净,安装后应作气密性试验，试验压力应为工作压力.停压24h不应泄漏。检查数量.全数检查 检验方法、观察检查、用压力表测量 11.2 5,除氮装置允许偏差应符合表11。2.5的规定.检查数量 全数检查.检验方法、应符合表11、2,5的规定。表11 2.5.除氮装置安装允许偏差和检验方法.11。2。6,真空泵安装允许偏差应符合表11,2、6的规定。检查数量、全数检查，检验方法。应符合表11。2，6的规定、表11。2.6、真空泵安装允许偏差和检验方法。11 2。7，氖氦气体压缩机安装.膜式压缩机,安装允许偏差 应符合表11。2、7的规定。检查数量,全数检查 检验方法、应符合表11，2，7的规定,表11 2,7.膜式压缩机安装允许偏差和检验方法。11、2、8、氖氦分离装置安装允许偏差应符合表11。2。8的规定。检查数量.全数检查,检验方法，应符合表11。2,8的规定。表11。2,8、氖氦分离装置安装允许偏差和检验方法