11,2 氖氦提取设备11。2，1、除氢装置安装允许偏差应符合表11,2 1的规定，检查数量。全数检查.检验方法。应符合表11。2、1的规定、表11 2。1、除氢装置安装允许偏差和检验方法11.2。2.除氢装置的吸附器、催化器在装填前应干燥。洁净 吸附剂,催化剂的规格和填充量应符合设计技术文件的规定 吸附剂 催化剂应按设计技术文件的规定进行活化 检查数量。全数检查,检验方法 观察检查,11，2、3。氖氦储气罐安装允许偏差应符合表11 2 3的规定，检查数量，全数检查。检验方法。应符合表11，2，3的规定,表11.2,3，氖氦储气罐安装允许偏差和检验方法11、2 4。氖氦储气罐安装前内部应干燥 洁净.安装后应作气密性试验、试验压力应为工作压力，停压24h不应泄漏、检查数量，全数检查 检验方法,观察检查,用压力表测量.11、2。5、除氮装置允许偏差应符合表11，2。5的规定.检查数量 全数检查，检验方法.应符合表11、2,5的规定 表11，2，5 除氮装置安装允许偏差和检验方法,11。2,6，真空泵安装允许偏差应符合表11 2，6的规定。检查数量 全数检查 检验方法,应符合表11，2。6的规定 表11 2 6,真空泵安装允许偏差和检验方法、11。2 7，氖氦气体压缩机安装,膜式压缩机、安装允许偏差,应符合表11 2,7的规定。检查数量,全数检查。检验方法。应符合表11,2,7的规定。表11，2.7.膜式压缩机安装允许偏差和检验方法。11、2、8,氖氦分离装置安装允许偏差应符合表11,2.8的规定，检查数量、全数检查。检验方法、应符合表11。2 8的规定，表11.2.8。氖氦分离装置安装允许偏差和检验方法