11、2,氖氦提取设备11、2 1 除氢装置安装允许偏差应符合表11、2 1的规定，检查数量，全数检查,检验方法。应符合表11.2。1的规定,表11 2.1。除氢装置安装允许偏差和检验方法11,2 2、除氢装置的吸附器、催化器在装填前应干燥.洁净，吸附剂,催化剂的规格和填充量应符合设计技术文件的规定。吸附剂。催化剂应按设计技术文件的规定进行活化.检查数量 全数检查，检验方法。观察检查.11，2.3,氖氦储气罐安装允许偏差应符合表11,2.3的规定，检查数量.全数检查 检验方法、应符合表11,2,3的规定，表11 2,3、氖氦储气罐安装允许偏差和检验方法11、2,4。氖氦储气罐安装前内部应干燥 洁净、安装后应作气密性试验.试验压力应为工作压力 停压24h不应泄漏。检查数量.全数检查。检验方法、观察检查.用压力表测量、11、2。5 除氮装置允许偏差应符合表11,2。5的规定，检查数量、全数检查 检验方法,应符合表11,2。5的规定,表11、2。5。除氮装置安装允许偏差和检验方法.11.2,6，真空泵安装允许偏差应符合表11 2.6的规定，检查数量.全数检查、检验方法.应符合表11，2,6的规定.表11。2，6 真空泵安装允许偏差和检验方法 11 2、7,氖氦气体压缩机安装.膜式压缩机。安装允许偏差,应符合表11。2，7的规定，检查数量、全数检查、检验方法 应符合表11,2、7的规定,表11，2、7、膜式压缩机安装允许偏差和检验方法,11,2。8.氖氦分离装置安装允许偏差应符合表11。2，8的规定.检查数量,全数检查，检验方法 应符合表11，2。8的规定.表11.2。8。氖氦分离装置安装允许偏差和检验方法