11，2,氖氦提取设备11,2，1.除氢装置安装允许偏差应符合表11。2.1的规定，检查数量。全数检查 检验方法 应符合表11。2 1的规定、表11.2,1，除氢装置安装允许偏差和检验方法11,2，2，除氢装置的吸附器 催化器在装填前应干燥,洁净,吸附剂 催化剂的规格和填充量应符合设计技术文件的规定.吸附剂。催化剂应按设计技术文件的规定进行活化、检查数量、全数检查 检验方法.观察检查，11。2、3 氖氦储气罐安装允许偏差应符合表11，2 3的规定.检查数量.全数检查.检验方法、应符合表11 2，3的规定,表11、2。3、氖氦储气罐安装允许偏差和检验方法11.2 4 氖氦储气罐安装前内部应干燥，洁净.安装后应作气密性试验。试验压力应为工作压力.停压24h不应泄漏,检查数量 全数检查。检验方法,观察检查,用压力表测量 11。2.5、除氮装置允许偏差应符合表11.2、5的规定，检查数量.全数检查，检验方法 应符合表11。2、5的规定.表11 2.5、除氮装置安装允许偏差和检验方法.11.2 6，真空泵安装允许偏差应符合表11、2 6的规定、检查数量 全数检查 检验方法，应符合表11 2,6的规定.表11.2,6。真空泵安装允许偏差和检验方法、11，2.7。氖氦气体压缩机安装。膜式压缩机。安装允许偏差、应符合表11，2。7的规定.检查数量。全数检查.检验方法.应符合表11。2 7的规定、表11.2 7.膜式压缩机安装允许偏差和检验方法。11。2、8，氖氦分离装置安装允许偏差应符合表11,2.8的规定.检查数量、全数检查。检验方法 应符合表11。2 8的规定 表11 2,8 氖氦分离装置安装允许偏差和检验方法