11,2.氖氦提取设备11、2 1。除氢装置安装允许偏差应符合表11.2.1的规定。检查数量。全数检查、检验方法、应符合表11 2,1的规定.表11，2,1,除氢装置安装允许偏差和检验方法11、2.2。除氢装置的吸附器.催化器在装填前应干燥、洁净 吸附剂 催化剂的规格和填充量应符合设计技术文件的规定.吸附剂.催化剂应按设计技术文件的规定进行活化，检查数量，全数检查，检验方法、观察检查。11，2。3，氖氦储气罐安装允许偏差应符合表11。2 3的规定。检查数量 全数检查，检验方法,应符合表11。2 3的规定、表11。2。3、氖氦储气罐安装允许偏差和检验方法11 2，4、氖氦储气罐安装前内部应干燥。洁净.安装后应作气密性试验，试验压力应为工作压力、停压24h不应泄漏,检查数量，全数检查，检验方法、观察检查 用压力表测量。11.2,5,除氮装置允许偏差应符合表11、2.5的规定，检查数量。全数检查、检验方法.应符合表11。2.5的规定 表11。2，5.除氮装置安装允许偏差和检验方法 11、2 6.真空泵安装允许偏差应符合表11.2 6的规定、检查数量,全数检查、检验方法。应符合表11,2 6的规定、表11,2 6、真空泵安装允许偏差和检验方法,11，2、7 氖氦气体压缩机安装 膜式压缩机。安装允许偏差,应符合表11,2 7的规定,检查数量 全数检查。检验方法,应符合表11,2。7的规定，表11,2。7,膜式压缩机安装允许偏差和检验方法、11，2。8。氖氦分离装置安装允许偏差应符合表11。2、8的规定,检查数量。全数检查.检验方法，应符合表11.2.8的规定、表11.2，8，氖氦分离装置安装允许偏差和检验方法