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11 2,氖氦提取设备11、2,1.除氢装置安装允许偏差应符合表11。2。1的规定,检查数量.全数检查。检验方法 应符合表11,2 1的规定,表11.2.1。除氢装置安装允许偏差和检验方法11 2、2,除氢装置的吸附器,催化器在装填前应干燥。洁净.吸附剂、催化剂的规格和填充量应符合设计技术文件的规定、吸附剂.催化剂应按设计技术文件的规定进行活化,检查数量,全数检查.检验方法、观察检查,11。2.3,氖氦储气罐安装允许偏差应符合表11。2.3的规定、检查数量.全数检查、检验方法,应符合表11,2,3的规定 表11,2.3、氖氦储气罐安装允许偏差和检验方法11,2、4,氖氦储气罐安装前内部应干燥。洁净,安装后应作气密性试验.试验压力应为工作压力,停压24h不应泄漏.检查数量.全数检查、检验方法 观察检查 用压力表测量.11,2、5、除氮装置允许偏差应符合表11 2、5的规定 检查数量.全数检查 检验方法、应符合表11,2 5的规定 表11.2,5.除氮装置安装允许偏差和检验方法,11,2,6,真空泵安装允许偏差应符合表11,2 6的规定,检查数量、全数检查,检验方法。应符合表11.2、6的规定 表11,2.6.真空泵安装允许偏差和检验方法、11、2 7、氖氦气体压缩机安装,膜式压缩机.安装允许偏差,应符合表11,2.7的规定,检查数量 全数检查、检验方法.应符合表11,2。7的规定.表11.2、7,膜式压缩机安装允许偏差和检验方法,11,2、8、氖氦分离装置安装允许偏差应符合表11、2 8的规定 检查数量、全数检查.检验方法,应符合表11,2、8的规定 表11。2.8。氖氦分离装置安装允许偏差和检验方法
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