11、2,氖氦提取设备11,2,1、除氢装置安装允许偏差应符合表11,2,1的规定，检查数量,全数检查.检验方法。应符合表11 2 1的规定。表11，2,1。除氢装置安装允许偏差和检验方法11。2，2.除氢装置的吸附器,催化器在装填前应干燥、洁净、吸附剂 催化剂的规格和填充量应符合设计技术文件的规定,吸附剂，催化剂应按设计技术文件的规定进行活化。检查数量，全数检查。检验方法，观察检查。11、2,3，氖氦储气罐安装允许偏差应符合表11，2，3的规定.检查数量,全数检查、检验方法 应符合表11.2,3的规定,表11、2，3，氖氦储气罐安装允许偏差和检验方法11.2,4，氖氦储气罐安装前内部应干燥，洁净，安装后应作气密性试验，试验压力应为工作压力,停压24h不应泄漏 检查数量,全数检查 检验方法，观察检查。用压力表测量 11，2、5.除氮装置允许偏差应符合表11。2、5的规定，检查数量，全数检查 检验方法.应符合表11 2 5的规定，表11。2，5.除氮装置安装允许偏差和检验方法 11 2、6 真空泵安装允许偏差应符合表11.2.6的规定、检查数量。全数检查 检验方法、应符合表11 2、6的规定.表11,2，6.真空泵安装允许偏差和检验方法 11，2,7，氖氦气体压缩机安装,膜式压缩机 安装允许偏差 应符合表11。2，7的规定 检查数量.全数检查,检验方法。应符合表11，2,7的规定。表11,2.7,膜式压缩机安装允许偏差和检验方法,11,2.8、氖氦分离装置安装允许偏差应符合表11。2.8的规定.检查数量、全数检查，检验方法、应符合表11、2 8的规定、表11,2，8,氖氦分离装置安装允许偏差和检验方法