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、4,纯水输送和分配4、1、一般规定4、1,2、4.1.3,此两条是为了保证生产工艺所要求水质的技术措施,随着生产技术的进步 工艺设备对纯水水质的要求不断提高 尤其是电子行业中集成电路生产和液晶显示器的制造,不但对水中电解质的含量要求极其严格,而且对细菌 微粒,有机物以及溶解氧等都有极其严格的要求 为了保证生产设备使用点水质的要求 除了要有严格的纯水制造过程外、纯水输送管道的管材选择和管网设计也是关键。实践证明采用循环供水方式是行之有效的 主要是基于保证输水管道内的流速和尽量减少不循环段的死水区.以减少纯水在管道内的停留时间,减小管道材料微量溶出物 即使目前质量最好的管道也会有微量溶出物,对超纯水水质的影响、同时、基于流水不腐的道理 高的流速还可以防止细菌微生物的滋生、在纯水管材的选择方面 主要应考虑三方面的因素,材料的化学稳定性.纯水是一种极好的溶剂、为了保证在输送过程中纯水水质下降最小 必须选择化学稳定性极好的管材.也就是在所要求的纯水中的溶出物最小,溶出物的多少应由材料的溶出试验确定 其中包括金属离子,有机物的溶出等。管道内壁的光洁度。若管道内壁有微小的凹凸,会造成微粒的沉积和微生物的繁殖,导致微粒和细菌两项指标的不合格。目前PVDF管道内壁粗糙度可达小于1μm,而不锈钢管约为几十μm,管道及管件的接头处的平整度。对于防止产生流水的涡流区是非常重要的 4、1 5.此条文是为了确保纯水输配系统长期稳定 安全运行的主要措施、纯水输配系统中采用的管道,管件,阀门 粘接剂等都有各自标定的压力等级 相应的连接方式。匹配的粘接剂、以及各自的试压条件.4。1,6、此条文是对热纯水加热方式所提出的原则性规定 随着电子工业的发展.尤其是以超大规模集成电路为代表的半导体产业的发展.生产工艺不仅对纯水的水质提出了更高的要求。同时。某些生产环节还对纯水的温度也提出了要求,而且对纯水温度的要求还不完全相同.这就要求设计人员根据热纯水的用水量和用水点的分布、并结合技术经济比较选择集中加热或使用点就地加热的方式.

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