、3 5。特殊水质指标的技术措施3,5，1，3 5 2 纯水水质指标有对微粒。总有机碳,细菌.溶解氧和二氧化硅等非电解质或弱电解质要求是电子工业纯水的独有的突出特点。它不同于只有脱盐要求的纯水系统 是一个严密的系统工程,某个处理单元对于去除某种物质有特殊的效果,但有可能产生新的污染物.降低了另外的水质指标，例如离子交换单元降低了电解质的含量,会增加溶解有机物和微粒 最终的膜过滤单元降低了水中的微粒。但有可能产生新的微量电解质降低水的电阻率等、水箱，水泵和管道阀门的反作用更是显而易见的。因此要求设计中准确把握处理过程中各项水质参数的变化,避免或减少处理单元的反作用效应、采用低TOC析出的离子交换树脂主要是在抛光混床内采用特殊加工的树脂，例如DOW的MR，3UPW均粒抛光树脂、R,H的UP6040抛光树脂等.