.5.2.纯水回收.5、2.1,纯水回收设计应与电子产品生产工艺设计密切配合 并应根据工程实际情况。回收水质、水量,结合当前的技术，经济条件等合理确定回收率.并宜符合下列要求，1、应用于集成电路生产的超纯水系统。其纯水回收率不宜低于75、2 应用于集成电路封装测试生产线的纯水系统，其背面减薄废水和划片废水应予回收利用,3,应用于TFT。LCD生产线的超纯水系统。其纯水回收率不宜低于50，5、2,2、经管路系统收集的用后纯水应连续检测其电导率。pH值和TOC.当检测值符合回用要求时，应予以回用，不符合回用要求时.应将其排放至废水处理系统。5,2,3。回收水处理系统流程的拟定和设备的选择 应根据工程的,具体情况 回收水水质.水量以及处理后的用途等因素综合确定 当不能取得回收水水质资料时.可按已建同类工程经验或经科学实验后确定.