、5,2，纯水回收。5.2。1 纯水回收设计应与电子产品生产工艺设计密切配合,并应根据工程实际情况 回收水质、水量、结合当前的技术。经济条件等合理确定回收率.并宜符合下列要求。1,应用于集成电路生产的超纯水系统，其纯水回收率不宜低于75。2。应用于集成电路封装测试生产线的纯水系统，其背面减薄废水和划片废水应予回收利用、3，应用于TFT。LCD生产线的超纯水系统.其纯水回收率不宜低于50.5、2.2.经管路系统收集的用后纯水应连续检测其电导率、pH值和TOC，当检测值符合回用要求时。应予以回用.不符合回用要求时,应将其排放至废水处理系统,5 2.3.回收水处理系统流程的拟定和设备的选择。应根据工程的。具体情况。回收水水质.水量以及处理后的用途等因素综合确定,当不能取得回收水水质资料时，可按已建同类工程经验或经科学实验后确定.