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5,2,纯水回收 5、2 1、纯水回收设计应与电子产品生产工艺设计密切配合。并应根据工程实际情况.回收水质,水量,结合当前的技术。经济条件等合理确定回收率 并宜符合下列要求.1,应用于集成电路生产的超纯水系统,其纯水回收率不宜低于75 2 应用于集成电路封装测试生产线的纯水系统.其背面减薄废水和划片废水应予回收利用.3.应用于TFT.LCD生产线的超纯水系统,其纯水回收率不宜低于50 5、2,2 经管路系统收集的用后纯水应连续检测其电导率,pH值和TOC、当检测值符合回用要求时,应予以回用。不符合回用要求时。应将其排放至废水处理系统 5.2 3 回收水处理系统流程的拟定和设备的选择,应根据工程的。具体情况.回收水水质,水量以及处理后的用途等因素综合确定,当不能取得回收水水质资料时、可按已建同类工程经验或经科学实验后确定、

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