，5，2,纯水回收。5，2.1,纯水回收设计应与电子产品生产工艺设计密切配合.并应根据工程实际情况.回收水质。水量 结合当前的技术。经济条件等合理确定回收率.并宜符合下列要求 1、应用于集成电路生产的超纯水系统 其纯水回收率不宜低于75、2.应用于集成电路封装测试生产线的纯水系统,其背面减薄废水和划片废水应予回收利用 3。应用于TFT、LCD生产线的超纯水系统，其纯水回收率不宜低于50。5、2。2，经管路系统收集的用后纯水应连续检测其电导率。pH值和TOC。当检测值符合回用要求时.应予以回用,不符合回用要求时，应将其排放至废水处理系统,5。2.3,回收水处理系统流程的拟定和设备的选择 应根据工程的 具体情况，回收水水质，水量以及处理后的用途等因素综合确定.当不能取得回收水水质资料时。可按已建同类工程经验或经科学实验后确定