、5,2.纯水回收.5,2 1 纯水回收设计应与电子产品生产工艺设计密切配合，并应根据工程实际情况 回收水质,水量，结合当前的技术。经济条件等合理确定回收率,并宜符合下列要求。1。应用于集成电路生产的超纯水系统,其纯水回收率不宜低于75。2。应用于集成电路封装测试生产线的纯水系统，其背面减薄废水和划片废水应予回收利用.3、应用于TFT。LCD生产线的超纯水系统，其纯水回收率不宜低于50、5。2、2、经管路系统收集的用后纯水应连续检测其电导率。pH值和TOC,当检测值符合回用要求时，应予以回用。不符合回用要求时。应将其排放至废水处理系统、5。2。3。回收水处理系统流程的拟定和设备的选择，应根据工程的.具体情况，回收水水质 水量以及处理后的用途等因素综合确定,当不能取得回收水水质资料时,可按已建同类工程经验或经科学实验后确定