。5，2。纯水回收、5 2。1。纯水回收设计应与电子产品生产工艺设计密切配合.并应根据工程实际情况.回收水质、水量、结合当前的技术.经济条件等合理确定回收率，并宜符合下列要求，1.应用于集成电路生产的超纯水系统，其纯水回收率不宜低于75,2、应用于集成电路封装测试生产线的纯水系统 其背面减薄废水和划片废水应予回收利用。3，应用于TFT LCD生产线的超纯水系统。其纯水回收率不宜低于50.5.2、2、经管路系统收集的用后纯水应连续检测其电导率,pH值和TOC、当检测值符合回用要求时。应予以回用,不符合回用要求时。应将其排放至废水处理系统,5.2，3。回收水处理系统流程的拟定和设备的选择,应根据工程的,具体情况 回收水水质，水量以及处理后的用途等因素综合确定,当不能取得回收水水质资料时 可按已建同类工程经验或经科学实验后确定，