，5、2 纯水回收,5、2，1.纯水回收设计应与电子产品生产工艺设计密切配合，并应根据工程实际情况。回收水质，水量、结合当前的技术 经济条件等合理确定回收率，并宜符合下列要求,1.应用于集成电路生产的超纯水系统、其纯水回收率不宜低于75，2。应用于集成电路封装测试生产线的纯水系统.其背面减薄废水和划片废水应予回收利用 3 应用于TFT.LCD生产线的超纯水系统 其纯水回收率不宜低于50,5 2,2.经管路系统收集的用后纯水应连续检测其电导率，pH值和TOC,当检测值符合回用要求时。应予以回用 不符合回用要求时、应将其排放至废水处理系统.5。2.3,回收水处理系统流程的拟定和设备的选择 应根据工程的.具体情况,回收水水质.水量以及处理后的用途等因素综合确定,当不能取得回收水水质资料时,可按已建同类工程经验或经科学实验后确定,