.5,2,纯水回收 5，2 1。纯水回收设计应与电子产品生产工艺设计密切配合 并应根据工程实际情况 回收水质，水量.结合当前的技术，经济条件等合理确定回收率，并宜符合下列要求 1 应用于集成电路生产的超纯水系统.其纯水回收率不宜低于75，2.应用于集成电路封装测试生产线的纯水系统 其背面减薄废水和划片废水应予回收利用 3、应用于TFT。LCD生产线的超纯水系统、其纯水回收率不宜低于50 5,2.2。经管路系统收集的用后纯水应连续检测其电导率，pH值和TOC.当检测值符合回用要求时.应予以回用，不符合回用要求时 应将其排放至废水处理系统.5,2.3、回收水处理系统流程的拟定和设备的选择 应根据工程的 具体情况.回收水水质，水量以及处理后的用途等因素综合确定。当不能取得回收水水质资料时 可按已建同类工程经验或经科学实验后确定、