，3。3。脱盐及深度处理3,3.1 反渗透用于纯水系统最初只是为了降低离子交换装置的进水含盐量以减少再生剂的耗量.但随着纯水水质对TOC 微粒、细菌 二氧化硅等指标的要求不断提高。反渗透的作用从脱盐扩大为对几乎超纯水各项指标都起到良好的去除效应,成为电子工业纯水系统不可缺少的单元处理装置.3 3,2 反渗透一般根据水量设计为并联的若干个独立的单元。独立单元包括自保安过滤.高压泵、反渗透组件及相应的管道系统和自控系统,反渗透需要定期停机清洗或更换膜元件。因此为保证连续供水一般不宜少于2套 当供水量较小且可以间歇运行或反渗透后的水箱足以供应清洗。更换期间的水量时 可以设置一套，反渗透膜运行初期透水量较大要求的运行压力较小,随着运行时间延长、膜被压实。膜面被污染透水量逐渐减小,运行压力升高、一般高压泵的扬程是按膜运行末期运行压力设计的 因此高压泵宜采用变频控制.以保持流量的恒定、反渗透出水的背压应根据膜制造商提供的数据确定，一般不超过0.1MPa.当反渗透停运时须将浓水区内滞留高含盐量的浓水冲出，防止沉积在膜面。故需设置停运冲洗保护措施 3。3 3，离子交换脱盐技术历史悠久,尤其是常用的固定床更是比较成熟.电子工业纯水系统初期的以离子交换为主要工艺.随着膜分离技术的发展其在系统中的比重逐渐缩小 近来除了混合床使用频率仍很高以外。为了提高反渗透水的回收率.有的系统在预处理阶段采用离子交换.取得了较好的效果，使反渗透水的回收率提高到90,以上，出水水质也有明显的提高.因此在当前的电子工业纯水系统中仍然不能忽视离子交换的作用，规范中专门列出了离子交换的有关条文,3，3,5。电脱盐装置长期运行的关键是控制进水的硬度.一般采用两级反渗透或软化.一级反渗透来保证。