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- 电子工业纯水系统设计规范 GB 50685-2011
- 1 总 则
- 2 术 语
- 3 纯水制备工艺
- 3. 1 一般规定
- 3. 2 预 处 理
- 3. 3 脱盐及深度处理
- 3. 4 精 处 理
- 3. 5 特殊水质指标的技术措施
- 3. 6 水箱、水泵
- 4 纯水输送和分配
- 5 纯水回收和节水
- 6 纯水站房
- 7 药品贮存、计量和输送
- 8 控制及仪表
- 附录A 水质全分析报告
- 附录B 离子交换器设计参数
- 本规范用词说明
- 引用标准名录
- 条文说明
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3,4.精,处，理 3，4.1 最终纯水水质要求较高时.精处理系统应与车间供水管道构成循环供水系统 3,4.2,系统设备的设计流量应按产水量与循环附加流量之和计算,3，4 3.精处理混合床应符合下列要求 1 应采用非再生式离子交换树脂 2。离子交换树脂应根据水质要求选择。3 离子交换器滤速宜为40m h.60m,h,3。4。4,最终用水有不同水温要求时.应在精混床后分别换热供水。热纯水回水应进行降温处理 3、4,5 精处理系统的最终出水管上应根据水质要求设置相应的在线水质监测仪表,未配置在线水质监测仪表时。应备有采样口.
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