7,10 管路与系统检测7。10,1.管路与系统检测的内容应根据电子生产工艺要求确定、并应按合同规定在工程完工后进行。7,10,2 化学品系统工程的检测项目应包括强度试验 严密性试验，泄漏性试验,洁净度测试 电气性能测试.以及合同要求的测试,7.10,3 管路强度试验 严密性试验及泄漏性试验应符合表7.10,3的规定、7.10 4。管道试验合格后应采用纯水进行系统冲洗 冲洗应沿化学品流动的方向进行冲洗，应从阀门箱出口排放到临时储药桶,纯水冲洗后。还应采用氮气对系统进行吹扫 冲洗 吹扫标准应符合工艺设备的要求。7,10,5、管道洁净度测试应符合下列要求。1。管道洁净度测试应在对管道系统进行冲洗、吹扫后进行 2，颗粒测试应通过取样阀取样测试。单位容积内的颗粒数应符合工艺系统的要求 无特殊要求时、0.1μm颗粒应小于5粒 mL,7、10。6。电气设备的绝缘应符合现行国家标准 建筑电气工程施工质量验收规范.GB。50303的有关规定，7,10 7,易燃易爆溶剂化学品管道防静电接地电阻值检测不得大于100Ω.