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- 电子工厂化学品系统工程技术规范 GB 50781-2012
- 1 总 则
- 2 术语、缩略语
- 3 化学品供应系统
- 3.1 一般规定
- 3.2 化学品供应设备
- 3.3 化学品供应管道系统
- 3.4 设备与管道材质
- 3.5 管道标识
- 4 化学品回收系统
- 5 化学品监控及安全系统
- 6 相关专业设计
- 7 工程施工及验收
- 本规范用词说明
- 引用标准名录
- 条文说明
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3.4,设备与管道材质3。4，1。化学品供应系统与介质接触的储罐.桶槽,管道,管道附件应采用不与化学品产生反应 并不向化学品介质渗透微量物质的材质.系统材质的选用应符合表3.4、1的规定,3,4.2。酸碱类 腐蚀性溶剂类化学品管路中的阀门密封,应采用PFA或PTFE材质,溶剂化学品管路中的阀门密封材料应采用不与输送介质发生反应的材质，3,4,3 酸碱类化学品的主供应管道应采用内管PFA,外管C PVC的双套管、隔膜阀应采用PFA材质。非腐蚀性溶剂化学品的主供应管道应采用SUS316LEP管、腐蚀性溶剂化学品的主供应管路应采用内管PFA。外管SUS304的双套管。隔膜阀应采用SUS316L,
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