3。3 化学品供应管道系统3 3.1，电子工厂的化学品属于危险性物质、管道架空敷设有利于管道的运行管理、可及时发现问题并便于维修 3。3、2.化学品供应管道设计流向一般应从下往上,这主要是为了消除系统中的气泡 利于介质的流动，3 3 3.为防止管路中的下述部位发生泄漏，规定酸碱类、研磨液,腐蚀性溶剂化学品双套管的内管应无焊接点,任何存在转接头、三通.大小头，焊接等连接点的部位都应安装在箱体内。3、3,4,由于研磨液化学品的黏度较大、输送较为困难 规定研磨液化学品管道应尽量缩短化学品供应设备到使用点的距离 并尽量减少弯头数量.3。3。5、非腐蚀性溶剂类化学品通常具有易燃易爆性质，同时考虑电子工艺对化学品纯度的要求，规定该类化学品采用不锈钢管道.3 3，7、条文中关于管道与阀门、设备连接时，应采用阀门,设备相同的连结方式是指阀门。设备配置的如法兰 双卡套,扩口.入珠，焊接等连接方式,