3.3、化学品供应管道系统3 3、1，电子工厂的化学品属于危险性物质。管道架空敷设有利于管道的运行管理,可及时发现问题并便于维修。3。3 2、化学品供应管道设计流向一般应从下往上、这主要是为了消除系统中的气泡、利于介质的流动.3.3,3、为防止管路中的下述部位发生泄漏.规定酸碱类 研磨液、腐蚀性溶剂化学品双套管的内管应无焊接点、任何存在转接头 三通。大小头。焊接等连接点的部位都应安装在箱体内,3。3,4。由于研磨液化学品的黏度较大、输送较为困难，规定研磨液化学品管道应尽量缩短化学品供应设备到使用点的距离。并尽量减少弯头数量、3 3。5 非腐蚀性溶剂类化学品通常具有易燃易爆性质,同时考虑电子工艺对化学品纯度的要求 规定该类化学品采用不锈钢管道.3 3、7、条文中关于管道与阀门.设备连接时、应采用阀门。设备相同的连结方式是指阀门、设备配置的如法兰、双卡套。扩口 入珠。焊接等连接方式.