3,3。化学品供应管道系统3,3、1、电子工厂的化学品属于危险性物质。管道架空敷设有利于管道的运行管理 可及时发现问题并便于维修、3。3 2 化学品供应管道设计流向一般应从下往上,这主要是为了消除系统中的气泡，利于介质的流动.3，3、3。为防止管路中的下述部位发生泄漏，规定酸碱类。研磨液。腐蚀性溶剂化学品双套管的内管应无焊接点、任何存在转接头、三通、大小头。焊接等连接点的部位都应安装在箱体内，3。3 4 由于研磨液化学品的黏度较大,输送较为困难,规定研磨液化学品管道应尽量缩短化学品供应设备到使用点的距离,并尽量减少弯头数量,3.3，5,非腐蚀性溶剂类化学品通常具有易燃易爆性质。同时考虑电子工艺对化学品纯度的要求,规定该类化学品采用不锈钢管道.3,3、7.条文中关于管道与阀门 设备连接时.应采用阀门，设备相同的连结方式是指阀门.设备配置的如法兰 双卡套，扩口.入珠.焊接等连接方式.