3,3。化学品供应管道系统3、3 1、电子工厂的化学品属于危险性物质,管道架空敷设有利于管道的运行管理 可及时发现问题并便于维修、3。3、2，化学品供应管道设计流向一般应从下往上、这主要是为了消除系统中的气泡。利于介质的流动。3、3.3,为防止管路中的下述部位发生泄漏 规定酸碱类，研磨液,腐蚀性溶剂化学品双套管的内管应无焊接点,任何存在转接头、三通，大小头.焊接等连接点的部位都应安装在箱体内，3、3,4.由于研磨液化学品的黏度较大 输送较为困难.规定研磨液化学品管道应尽量缩短化学品供应设备到使用点的距离、并尽量减少弯头数量.3，3,5。非腐蚀性溶剂类化学品通常具有易燃易爆性质 同时考虑电子工艺对化学品纯度的要求，规定该类化学品采用不锈钢管道,3,3.7 条文中关于管道与阀门,设备连接时。应采用阀门，设备相同的连结方式是指阀门 设备配置的如法兰。双卡套。扩口。入珠，焊接等连接方式,