3。3，化学品供应管道系统3。3,1 电子工厂的化学品属于危险性物质,管道架空敷设有利于管道的运行管理、可及时发现问题并便于维修.3 3。2 化学品供应管道设计流向一般应从下往上 这主要是为了消除系统中的气泡。利于介质的流动，3，3,3,为防止管路中的下述部位发生泄漏。规定酸碱类，研磨液.腐蚀性溶剂化学品双套管的内管应无焊接点.任何存在转接头。三通、大小头 焊接等连接点的部位都应安装在箱体内、3.3 4,由于研磨液化学品的黏度较大，输送较为困难,规定研磨液化学品管道应尽量缩短化学品供应设备到使用点的距离，并尽量减少弯头数量.3，3。5.非腐蚀性溶剂类化学品通常具有易燃易爆性质、同时考虑电子工艺对化学品纯度的要求,规定该类化学品采用不锈钢管道.3、3 7。条文中关于管道与阀门。设备连接时。应采用阀门、设备相同的连结方式是指阀门,设备配置的如法兰.双卡套。扩口。入珠,焊接等连接方式。