3、3，化学品供应管道系统3、3 1。电子工厂的化学品属于危险性物质.管道架空敷设有利于管道的运行管理。可及时发现问题并便于维修 3。3。2、化学品供应管道设计流向一般应从下往上 这主要是为了消除系统中的气泡 利于介质的流动.3 3。3，为防止管路中的下述部位发生泄漏、规定酸碱类 研磨液、腐蚀性溶剂化学品双套管的内管应无焊接点，任何存在转接头.三通，大小头.焊接等连接点的部位都应安装在箱体内 3,3 4、由于研磨液化学品的黏度较大 输送较为困难 规定研磨液化学品管道应尽量缩短化学品供应设备到使用点的距离 并尽量减少弯头数量 3,3,5，非腐蚀性溶剂类化学品通常具有易燃易爆性质。同时考虑电子工艺对化学品纯度的要求，规定该类化学品采用不锈钢管道,3.3.7,条文中关于管道与阀门、设备连接时。应采用阀门 设备相同的连结方式是指阀门,设备配置的如法兰、双卡套.扩口.入珠,焊接等连接方式、