10.5,纯 水10。5.1,纯水站设计应符合现行国家标准,电子工业纯水系统设计规范.GB.50685的有关规定。10,5。2。纯水系统的规模。供水水质 水压和水温应根据工艺设备的要求确定,10,5.3。纯水站的位置应满足工艺总体布局要求。并宜靠近用水较集中的区域、10 5,4。水质要求较高的纯水系统应采用循环供水的方式.并应符合下列规定。1,循环管道宜采用同程布置。2,循环附加水量宜大于或等于使用水量的30.3,干管流速宜为1、5m s,3,0m。s,4、不循环的支管长度不宜大于6倍管径、5。供水干管上应设清洗口.

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