9,4 空气调节与净化9、4 1.玻璃基板工厂内的空气洁净度 温度、湿度应满足生产工艺的要求.9，4、2。玻璃基板工厂洁净室与周围的空间应保持一定的静压差,静压差应符合下列规定 1，不同等级的洁净室之间的静压差不宜小于5Pa 2、洁净室与非洁净室之间的静压差不应小于5Pa,3,洁净室与室外的静压差不应小于10Pa.9.4.3。生产区净化房间的新风量应取下列两项中的较大值，1，补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和，2、供给洁净室 区，内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3,供给非洁净室、区 内每人每小时的新鲜空气量不小于30m3,9。4。4，净化空气调节系统的新风应进行集中处理。新风处理机组的设置应符合下列规定，1，送风机应采取自动调速措施.2、空气宜经过粗效，中效 高效过滤器三级处理，3,应有良好的气密性。在工作压力下的漏风率不得大于1。4 应设置备用新风处理机组，或在空调设备内设置备用风机。5、寒冷地区或严寒地区的新风机组，应设置防冻措施以避免危害机组的正常运行。9 4,5 净化空调机组的选用及布置应符合下列规定 1，送风机宜采取变频调速措施。2，应有良好的气密性 在工作压力下的漏风率不得大于1 3。当服务于生产连续性要求较强的或工艺对房间温湿度要求较高的环境时.空调机组宜设置备机或设置备用风机.当空调机组或风机产生故障时、备机或备用风机应自动启动,9 4.6,风机过滤单元.FFU，或高效过滤风口的布置应符合下列规定、1，应根据洁净度等级及送风量来确定、2,应根据房间的层高.吊顶形式、气流要求以及工艺设备的布置要求来确定，3。应便于检修及更换过滤器。4、满布率较高时.外壳的强度应满足检修的要求,5，送风量应能调节，9.4。7。干冷却盘管的选用及布置应符合下列规定。1，冷冻水的进水温度、宜高于洁净室,区 空气的露点温度、2、外形尺寸以及处理温差应根据房间内的循环空气风量,负荷情况以及空气过滤单元所提供的机外余压确定，3、布置在同一洁净室。区,内的干冷却盘管，在工作条件下空气侧阻力相差不应大于10，4。应设置排水设施.非落地安装的干冷却盘管应设置积水盘。5.供回水管上面阀组的位置设置、应考虑检修方便并避免设置在重要工艺设备以及配电设备的上方,9 4，8,空态洁净室噪声级设计应符合现行国家标准 电子工业洁净厂房设计规范,GB。50472的有关规定,9，4,9,设置在融化区配电间及控制室的空调系统宜设置备用机组。当采用冷冻水作为空调冷源且冷冻水系统不设应急电源时。宜采用自带冷源的风冷空调机组作为备机 风冷空调机应由应急电源供电、