9,4。空气调节与净化9.4.2。洁净室、区 与周围的环境要保持一定的静压差、这是为了确保洁净室,区.的正常工作状态或空气平衡暂时受到破坏时 空气流只能从空气洁净度等级高的房间、区域 流向空气洁净度等级低的房间.区域.使洁净室，区，内的空气洁净度不会受到污染空气的干扰 玻璃基板工厂内因工艺工序连续性的要求 有些不同洁净度的洁净室，区.以及洁净区和非洁净区之间可能会有一些无法封堵的工艺孔洞，设计需要配合工艺进行相关的设计考虑，以保持各区域之间的压力满足要求,9,4，4 本条对新风处理机组的设置做了规定 1,本款规定是为了很好地控制洁净室内的正压值 同时也为了节能、2.本款规定的目的是室外含尘空气在送入洁净室前得以彻底过滤 从而延长洁净室顶部风机过滤单元。FFU，内过滤器的使用寿命.3。本款规定是为了提高新风处理系统的可靠性 确保洁净室内的正压值和洁净度,9,4.5 本条对净化空调机组的选用及布置做了规定、1、本款规定是为了满足节能要求 3，本款规定是为了提高风处理系统的可靠性。确保洁净室内的温湿度和洁净度.9.4、7，本条对干冷却盘管的选用及布置做了规定、1,本款规定主要是考虑房间相对湿度是由新风机组保证的、干冷却盘管不承担去湿功能，而且为了洁净室的维护以及相对湿度的控制.干冷却盘管不应有去湿功能、干冷却盘管的供水温度应通过计算确定，通常要高于洁净室.区、内的露点温度 2 本款规定主要是考虑到干冷却盘管尺寸的选择会对洁净室气流循环阻力以及处理负荷起到很大影响、对于风过滤单元,FFU 的机外余压的选择以及降低能源消耗都是重要的影响因素，3 本款规定主要考虑到气流以及房间温度的控制、4。干冷却盘管在正常运行时虽无冷凝水析出,但考虑到洁净室在高湿环境下启动干冷却盘管,管路系统意外渗漏以及干冷却盘管及水系统需要检修而排水等因素，最好还应设置积水盘及排水系统、5、本款规定主要考虑到水管阀组如设置在重要工艺设备以及配电设备上方、如产生漏水情况.会对设备.人员安全以及生产造成很大影响.9。4、9,本条规定主要是考虑薄膜晶体管显示器件玻璃基板工厂的特殊性，熔化区的生产为连续且不能间断，为生产服务的配电间及控制室一般布置在熔化区域周边。房间内电气设备发热量较大且周围环境温度均很高，如房间空调故障会对生产正常运行造成很大影响,因此需要考虑设置备用机组.当冷冻水系统不设应急电源的时候,如出现供电事故时、设置了应急电源的风冷空调机组应能投入使用、确保房间温度、同时、风冷空调机组应能保证全年可运行制冷。风冷空调的选型应能满足冬季室外温度条件下能够正常运行在制冷工况，