4，6、压缩空气 真空及大宗气体系统监控设计4、6.1、压缩空气系统包括空气压缩机组.压力平衡罐。冷冻除湿机 吸附除湿机，过滤器和管线阀门,真空系统包括真空泵机组、管线阀门和排风管线,大宗气体系统包括液态气体罐.蒸发器.阀组 气体纯化器。管线。4。6.2。当压缩空气系统,真空系统和大宗气体系统规模较小时 控制系统可以与其他动力系统合并设置.但从系统的稳定性考虑。宜独立设置控制系统,4 6.3.厂务管理控制系统对于压缩空气系统，真空系统及大宗气体系统的工作范围和功能进行监控，4 6 4 空气压缩机电机为非变频时.应监控空气压缩机是在满载状态运行,还是在空载状态运行、当空气压缩机电机为变频运行时,应监控运行频率,4,6 5。管线压力是压缩空气系统的重要运行参数、4、6、6,压缩空气的露点温度是系统运行的重要参数.4 6，7,真空泵的启停状态是真空系统运行的重要参数,4 6,8，真空度参数的测试点的位置可选择缓冲真空罐上或真空主管线上,4。6 9。气体管线阀门的开关状态和气体传感器及纯化分析仪参数是大宗气体系统运行的重要参数.4.6、10,气体检测系统报警信号应实时传递给厂务管理控制系统、