4.2、洁净室。区.环境监控设计4、2。1。对温度 湿度、露点温度、压差，洁净度 空气成分等全部或部分空气参数进行监视,测量和记录。并及时报警.维持洁净环境,满足工艺生产的要求。对于生产新型显示器件及半导体器件的洁净室环境,悬浮分子污染物。Airborne Molecular，Contaminants.AMC，的控制越来越重要，国际半导体设备与材料协会.Semiconductor Equipment，and,Materials，International SEMI,的标准根据化学品的特性。将洁净室中的空气污染物分为酸 Molecular。Acids，MA，碱、Molecular.Bases。MB、可凝聚物,Molecular.Condensables。MC。和掺杂物、Molecular、Dopants，MD、4。2、2，系统合用便于统一管理 保证数据传输的可靠，及时、如分开设置,需采取措施保证不同监控系统间数据通信的可靠 及时，4 2 3 在同一栋生产厂房内、工艺段对洁净环境的温度。湿度，压力要求不同 但控制系统共用时、控制系统的选择应满足最严格的要求。4 2 6、个别生产工艺段有化学沉积现象,化学物质沉积在敏感元件处时会影响测量精度。严重的会使传感器失去功能.因此 要采取适当的防护措施，