4 2，洁净室。区 环境监控设计4。2.1、对温度 湿度 露点温度 压差、洁净度 空气成分等全部或部分空气参数进行监视,测量和记录、并及时报警。维持洁净环境，满足工艺生产的要求,对于生产新型显示器件及半导体器件的洁净室环境.悬浮分子污染物 Airborne。Molecular,Contaminants AMC，的控制越来越重要.国际半导体设备与材料协会 Semiconductor、Equipment,and Materials.International SEMI.的标准根据化学品的特性,将洁净室中的空气污染物分为酸.Molecular，Acids，MA.碱.Molecular,Bases，MB 可凝聚物 Molecular，Condensables,MC,和掺杂物。Molecular.Dopants、MD.4、2,2。系统合用便于统一管理，保证数据传输的可靠，及时 如分开设置，需采取措施保证不同监控系统间数据通信的可靠 及时,4.2 3.在同一栋生产厂房内.工艺段对洁净环境的温度 湿度。压力要求不同 但控制系统共用时。控制系统的选择应满足最严格的要求.4。2、6，个别生产工艺段有化学沉积现象.化学物质沉积在敏感元件处时会影响测量精度、严重的会使传感器失去功能,因此,要采取适当的防护措施,