4，2，洁净室，区、环境监控设计4。2.1，对温度。湿度、露点温度,压差,洁净度.空气成分等全部或部分空气参数进行监视。测量和记录。并及时报警、维持洁净环境、满足工艺生产的要求 对于生产新型显示器件及半导体器件的洁净室环境，悬浮分子污染物 Airborne,Molecular。Contaminants.AMC，的控制越来越重要、国际半导体设备与材料协会.Semiconductor.Equipment、and、Materials International，SEMI、的标准根据化学品的特性 将洁净室中的空气污染物分为酸,Molecular，Acids，MA.碱,Molecular。Bases,MB、可凝聚物.Molecular,Condensables，MC,和掺杂物，Molecular、Dopants、MD,4 2，2,系统合用便于统一管理 保证数据传输的可靠,及时 如分开设置，需采取措施保证不同监控系统间数据通信的可靠 及时 4.2,3、在同一栋生产厂房内 工艺段对洁净环境的温度.湿度。压力要求不同。但控制系统共用时，控制系统的选择应满足最严格的要求,4.2、6 个别生产工艺段有化学沉积现象,化学物质沉积在敏感元件处时会影响测量精度、严重的会使传感器失去功能.因此。要采取适当的防护措施。