4。2，洁净室.区 环境监控设计4。2,1.对温度，湿度.露点温度、压差.洁净度,空气成分等全部或部分空气参数进行监视，测量和记录、并及时报警，维持洁净环境、满足工艺生产的要求、对于生产新型显示器件及半导体器件的洁净室环境，悬浮分子污染物 Airborne,Molecular,Contaminants。AMC，的控制越来越重要。国际半导体设备与材料协会 Semiconductor。Equipment，and，Materials。International.SEMI，的标准根据化学品的特性 将洁净室中的空气污染物分为酸、Molecular.Acids。MA、碱.Molecular,Bases MB，可凝聚物、Molecular Condensables MC、和掺杂物。Molecular、Dopants MD.4，2.2 系统合用便于统一管理,保证数据传输的可靠，及时,如分开设置 需采取措施保证不同监控系统间数据通信的可靠 及时 4。2 3 在同一栋生产厂房内、工艺段对洁净环境的温度,湿度,压力要求不同 但控制系统共用时。控制系统的选择应满足最严格的要求.4，2 6.个别生产工艺段有化学沉积现象.化学物质沉积在敏感元件处时会影响测量精度,严重的会使传感器失去功能、因此，要采取适当的防护措施，