4。2。洁净室。区.环境监控设计4、2.1、对温度 湿度，露点温度、压差 洁净度。空气成分等全部或部分空气参数进行监视.测量和记录、并及时报警,维持洁净环境、满足工艺生产的要求，对于生产新型显示器件及半导体器件的洁净室环境，悬浮分子污染物、Airborne,Molecular Contaminants，AMC,的控制越来越重要.国际半导体设备与材料协会,Semiconductor、Equipment.and,Materials International.SEMI.的标准根据化学品的特性，将洁净室中的空气污染物分为酸。Molecular，Acids，MA、碱 Molecular,Bases，MB、可凝聚物、Molecular Condensables，MC 和掺杂物、Molecular Dopants.MD 4。2，2,系统合用便于统一管理.保证数据传输的可靠。及时.如分开设置。需采取措施保证不同监控系统间数据通信的可靠 及时,4.2，3 在同一栋生产厂房内 工艺段对洁净环境的温度.湿度 压力要求不同、但控制系统共用时。控制系统的选择应满足最严格的要求.4 2。6。个别生产工艺段有化学沉积现象，化学物质沉积在敏感元件处时会影响测量精度、严重的会使传感器失去功能。因此,要采取适当的防护措施,