4。2.洁净室.区 环境监控设计4。2,1 对温度.湿度、露点温度,压差，洁净度、空气成分等全部或部分空气参数进行监视.测量和记录，并及时报警 维持洁净环境，满足工艺生产的要求,对于生产新型显示器件及半导体器件的洁净室环境。悬浮分子污染物。Airborne。Molecular。Contaminants。AMC.的控制越来越重要。国际半导体设备与材料协会 Semiconductor，Equipment.and，Materials。International。SEMI.的标准根据化学品的特性。将洁净室中的空气污染物分为酸 Molecular、Acids、MA.碱 Molecular Bases。MB,可凝聚物。Molecular Condensables、MC.和掺杂物.Molecular,Dopants、MD 4.2，2，系统合用便于统一管理,保证数据传输的可靠，及时。如分开设置,需采取措施保证不同监控系统间数据通信的可靠,及时,4。2,3 在同一栋生产厂房内.工艺段对洁净环境的温度，湿度，压力要求不同.但控制系统共用时.控制系统的选择应满足最严格的要求。4 2、6.个别生产工艺段有化学沉积现象。化学物质沉积在敏感元件处时会影响测量精度.严重的会使传感器失去功能。因此 要采取适当的防护措施,