4、2 洁净室、区,环境监控设计4 2,1。对温度.湿度,露点温度。压差.洁净度.空气成分等全部或部分空气参数进行监视，测量和记录。并及时报警,维持洁净环境.满足工艺生产的要求，对于生产新型显示器件及半导体器件的洁净室环境、悬浮分子污染物，Airborne、Molecular Contaminants、AMC。的控制越来越重要，国际半导体设备与材料协会、Semiconductor.Equipment.and Materials,International,SEMI。的标准根据化学品的特性，将洁净室中的空气污染物分为酸.Molecular,Acids,MA,碱，Molecular.Bases,MB。可凝聚物。Molecular，Condensables MC,和掺杂物。Molecular.Dopants.MD、4，2，2，系统合用便于统一管理。保证数据传输的可靠、及时.如分开设置、需采取措施保证不同监控系统间数据通信的可靠,及时、4，2，3，在同一栋生产厂房内，工艺段对洁净环境的温度。湿度.压力要求不同,但控制系统共用时,控制系统的选择应满足最严格的要求。4 2，6,个别生产工艺段有化学沉积现象 化学物质沉积在敏感元件处时会影响测量精度。严重的会使传感器失去功能、因此.要采取适当的防护措施。