4。2.洁净室.区。环境监控设计4，2 1，对温度,湿度.露点温度、压差，洁净度,空气成分等全部或部分空气参数进行监视,测量和记录。并及时报警。维持洁净环境，满足工艺生产的要求，对于生产新型显示器件及半导体器件的洁净室环境 悬浮分子污染物,Airborne。Molecular Contaminants、AMC，的控制越来越重要.国际半导体设备与材料协会，Semiconductor Equipment,and,Materials,International SEMI.的标准根据化学品的特性 将洁净室中的空气污染物分为酸，Molecular、Acids。MA 碱、Molecular Bases。MB 可凝聚物.Molecular、Condensables.MC 和掺杂物,Molecular Dopants。MD，4.2。2,系统合用便于统一管理.保证数据传输的可靠，及时,如分开设置.需采取措施保证不同监控系统间数据通信的可靠.及时,4 2 3，在同一栋生产厂房内 工艺段对洁净环境的温度，湿度,压力要求不同.但控制系统共用时,控制系统的选择应满足最严格的要求，4.2。6,个别生产工艺段有化学沉积现象。化学物质沉积在敏感元件处时会影响测量精度.严重的会使传感器失去功能.因此、要采取适当的防护措施,