4 2，洁净室.区、环境监控设计4，2。1.对温度，湿度，露点温度.压差。洁净度 空气成分等全部或部分空气参数进行监视.测量和记录、并及时报警,维持洁净环境。满足工艺生产的要求,对于生产新型显示器件及半导体器件的洁净室环境 悬浮分子污染物、Airborne，Molecular，Contaminants、AMC.的控制越来越重要 国际半导体设备与材料协会、Semiconductor,Equipment、and。Materials，International SEMI，的标准根据化学品的特性,将洁净室中的空气污染物分为酸。Molecular.Acids。MA.碱,Molecular。Bases MB，可凝聚物，Molecular,Condensables、MC，和掺杂物 Molecular Dopants MD 4.2。2 系统合用便于统一管理、保证数据传输的可靠 及时。如分开设置，需采取措施保证不同监控系统间数据通信的可靠。及时、4.2 3，在同一栋生产厂房内.工艺段对洁净环境的温度，湿度 压力要求不同.但控制系统共用时。控制系统的选择应满足最严格的要求。4.2 6，个别生产工艺段有化学沉积现象.化学物质沉积在敏感元件处时会影响测量精度。严重的会使传感器失去功能 因此 要采取适当的防护措施。