4，2,洁净室、区，环境监控设计4。2,1,对温度，湿度.露点温度 压差 洁净度 空气成分等全部或部分空气参数进行监视 测量和记录 并及时报警。维持洁净环境。满足工艺生产的要求,对于生产新型显示器件及半导体器件的洁净室环境。悬浮分子污染物，Airborne。Molecular、Contaminants。AMC，的控制越来越重要、国际半导体设备与材料协会，Semiconductor Equipment，and Materials，International。SEMI、的标准根据化学品的特性,将洁净室中的空气污染物分为酸 Molecular.Acids MA、碱、Molecular，Bases。MB。可凝聚物、Molecular,Condensables,MC、和掺杂物.Molecular,Dopants。MD。4，2，2、系统合用便于统一管理 保证数据传输的可靠、及时、如分开设置，需采取措施保证不同监控系统间数据通信的可靠,及时.4,2 3。在同一栋生产厂房内、工艺段对洁净环境的温度。湿度 压力要求不同。但控制系统共用时。控制系统的选择应满足最严格的要求 4,2。6,个别生产工艺段有化学沉积现象.化学物质沉积在敏感元件处时会影响测量精度.严重的会使传感器失去功能.因此 要采取适当的防护措施。