4,2 洁净室,区。环境监控设计4，2 1、对温度,湿度，露点温度 压差,洁净度。空气成分等全部或部分空气参数进行监视,测量和记录,并及时报警、维持洁净环境,满足工艺生产的要求,对于生产新型显示器件及半导体器件的洁净室环境。悬浮分子污染物。Airborne、Molecular Contaminants，AMC 的控制越来越重要,国际半导体设备与材料协会,Semiconductor.Equipment。and,Materials,International SEMI、的标准根据化学品的特性。将洁净室中的空气污染物分为酸、Molecular，Acids、MA.碱，Molecular，Bases MB，可凝聚物.Molecular。Condensables.MC、和掺杂物,Molecular Dopants。MD,4.2.2、系统合用便于统一管理，保证数据传输的可靠.及时，如分开设置，需采取措施保证不同监控系统间数据通信的可靠.及时,4 2,3 在同一栋生产厂房内、工艺段对洁净环境的温度、湿度,压力要求不同.但控制系统共用时,控制系统的选择应满足最严格的要求 4.2、6，个别生产工艺段有化学沉积现象。化学物质沉积在敏感元件处时会影响测量精度.严重的会使传感器失去功能、因此。要采取适当的防护措施、