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- 电子工业厂房综合自动化工程技术标准 GB 51321-2018
- 1 总则
- 2 术语
- 3 基本规定
- 4 系统设计
- 4.1 一般规定
- 4.2 洁净室（区）环境监控设计
- 4.3 供暖、通风与空气调节系统监控设计
- 4.4 冷热源系统监控设计
- 4.5 工艺冷却水系统监控设计
- 4.6 压缩空气、真空及大宗气体系统监控设计
- 4.7 纯水站系统监控设计
- 4.8 特种气体及化学品输配系统监控设计
- 4.9 给排水系统监控设计
- 4.10 工业污水处理系统监控设计
- 4.11 工厂能源管理及节能系统设计
- 4.12 公共安全系统设计
- 4.13 信息设施系统设计
- 4.14 自动化集成系统设计
- 4.15 信号传输线路设计
- 4.16 控制中心设计
- 5 工程施工
- 6 验收移交
- 附录A 施工现场质量管理检查记录
- 附录B 材料、设备进场检验记录
- 附录C 设备开箱检验记录
- 附录D 隐蔽工程检查记录
- 附录E 检验批质量验收记录
- 附录F 分项工程质量验收记录
- 附录G 分部（子分部）工程验收记录
- 本标准用词说明
- 引用标准名录
- 条文说明
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4 2,洁净室。区,环境监控设计4。2。1,根据工艺要求.应对洁净室,区。的空气参数进行监视,测量和记录，4、2、2，洁净室,区,的监控系统与净化空调的监控系统宜合用 或采用通信的方式进行数据共享、4，2。3、多个洁净室.区.采用一套监控系统时、应根据最严格的洁净室、区、的温度和湿度要求选择控制系统的精度、4，2,4,洁净室。区.内外的压差检测，宜采用压差变送器监测。4 2.5,洁净室、区 安装有过滤器时 宜具有过滤器压差报警功能。4,2，6.传感器宜对化学物质沉积采取防护措施或具备自洁功能