9 3,空气调节与净化9。3,1,印制电路板厂房内的空气洁净度、温度、湿度要求应满足生产工艺的要求,9,3,2,厂房内的车间或区域符合下列情况之一时。空气调节系统宜分开设置、1,对温度、湿度控制要求差别大的房间 2。净化空调系统与一般空调系统、3,容易产生交叉污染的区域或房间,4。工艺设备发热量相差悬殊的不同房间.9 3。3。厂房内洁净室 区,与周围环境应维持一定的压差、不同等级的洁净区之间的静压差不应小于5Pa.洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。洁净室。区.与室外的静压差不应小于10Pa。9.3 4。生产区空调。净化房间的新鲜空气量应取下列两项中的最大值,1,补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和,2,供给洁净室,区,内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。供给非洁净室.区。内每人每小时的新鲜空气量不小于30m3.9.3 5。空调系统的送风.回风和排风系统的启闭连锁,控制要求,应符合现行国家标准。电子工业洁净厂房设计规范,GB。50472的有关规定。9,3。6,满足空气洁净度等级的洁净室送风量。静态,和气流流型宜按表9.3 6计算 表9 3,6,洁净室送风量,静态,和气流流型.注 1、换气次数适用于层高小于4、0m的洁净室,2 室内人员少,热源少时.宜采用下限值.9 3,7 单向流和混合流洁净室的噪声级 空态,不应大于65dB、A、非单向流洁净室的噪声级,窄态 不应大于60dB,A.9,3。8。洁净室的送风方式可分为集中送风.风机过滤机组送风等,9。3 9。电镀,沉铜、棕化。表面处理,蚀刻,清洗,烤板等工序宜设置岗位送风系统.岗位送风系统宜经过过滤.冷却.加热等处理、送风温度宜保持在16,28.9 3.10,空气过滤器的选用。布置应符合下列要求,1,空气净化处理系统应根据空气洁净度等级合理选用空气过滤器。2,空气过滤器处理风量不应大于额定风量,3,中效和高中效空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段、4,亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端,5、同一净化空调系统中末端空气过滤器的阻力,效率。使用风量与额定风量之比值应相近、9。3.11、风机过滤器机组的设置应符合下列要求 1,应根据空气洁净度等级和送风量选用。2 送风量应能调节.3 应便于安装、维修及过滤器更换,9、3,12,干冷却盘管的设置应符合下列要求。1、迎面风速不宜超过2.5m、s.2 空气侧阻力不应大于40Pa 3,布置在同一洁净室、区,内的干冷却盘管、在工作条件下空气侧阻力相差不应大于10。4。冷冻水的供水温度应高于洁净室 区。内的露点温度,5。应设置排水系统,9,3 13,净化空调系统的新风吸入管应设置密闭装置,并应与风机连锁,9.3、14。空调系统采用电加热器时,电加热器与风机应联锁控制.并应设置无风。超温断电保护装置.当采用电加湿器时、应设置无水,无风断电保护装置 寒冷地区 新风系统应设置防冻保护措施.
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