9，3.空气调节与净化9,3。1。印制电路板厂房内的空气洁净度,温度.湿度要求应满足生产工艺的要求,9.3。2 厂房内的车间或区域符合下列情况之一时。空气调节系统宜分开设置。1。对温度 湿度控制要求差别大的房间.2.净化空调系统与一般空调系统 3。容易产生交叉污染的区域或房间,4、工艺设备发热量相差悬殊的不同房间.9 3.3 厂房内洁净室，区。与周围环境应维持一定的压差，不同等级的洁净区之间的静压差不应小于5Pa.洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa、洁净室。区、与室外的静压差不应小于10Pa.9、3、4，生产区空调、净化房间的新鲜空气量应取下列两项中的最大值。1，补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和.2,供给洁净室，区，内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3,供给非洁净室,区 内每人每小时的新鲜空气量不小于30m3、9、3,5。空调系统的送风,回风和排风系统的启闭连锁。控制要求 应符合现行国家标准.电子工业洁净厂房设计规范、GB 50472的有关规定、9.3，6、满足空气洁净度等级的洁净室送风量 静态,和气流流型宜按表9，3 6计算 表9。3、6.洁净室送风量，静态，和气流流型 注。1，换气次数适用于层高小于4、0m的洁净室 2。室内人员少,热源少时、宜采用下限值，9 3.7，单向流和混合流洁净室的噪声级，空态，不应大于65dB、A 非单向流洁净室的噪声级、窄态 不应大于60dB A 9、3,8 洁净室的送风方式可分为集中送风.风机过滤机组送风等、9,3,9.电镀。沉铜 棕化。表面处理。蚀刻，清洗、烤板等工序宜设置岗位送风系统，岗位送风系统宜经过过滤、冷却 加热等处理。送风温度宜保持在16、28，9、3 10。空气过滤器的选用，布置应符合下列要求,1，空气净化处理系统应根据空气洁净度等级合理选用空气过滤器、2,空气过滤器处理风量不应大于额定风量,3 中效和高中效空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段，4、亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端.5.同一净化空调系统中末端空气过滤器的阻力.效率、使用风量与额定风量之比值应相近，9、3,11、风机过滤器机组的设置应符合下列要求。1，应根据空气洁净度等级和送风量选用.2，送风量应能调节、3，应便于安装,维修及过滤器更换.9,3 12,干冷却盘管的设置应符合下列要求.1。迎面风速不宜超过2，5m,s 2 空气侧阻力不应大于40Pa，3.布置在同一洁净室。区，内的干冷却盘管 在工作条件下空气侧阻力相差不应大于10，4。冷冻水的供水温度应高于洁净室.区，内的露点温度.5、应设置排水系统,9.3。13,净化空调系统的新风吸入管应设置密闭装置。并应与风机连锁 9。3，14。空调系统采用电加热器时 电加热器与风机应联锁控制.并应设置无风、超温断电保护装置，当采用电加湿器时,应设置无水 无风断电保护装置。寒冷地区、新风系统应设置防冻保护措施、