9,3。空气调节与净化9。3、1 印制电路板厂房内的空气洁净度 温度,湿度要求应满足生产工艺的要求.9、3,2,厂房内的车间或区域符合下列情况之一时.空气调节系统宜分开设置,1、对温度。湿度控制要求差别大的房间。2,净化空调系统与一般空调系统 3,容易产生交叉污染的区域或房间 4,工艺设备发热量相差悬殊的不同房间。9.3 3.厂房内洁净室.区.与周围环境应维持一定的压差、不同等级的洁净区之间的静压差不应小于5Pa.洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa 洁净室,区,与室外的静压差不应小于10Pa、9.3、4,生产区空调。净化房间的新鲜空气量应取下列两项中的最大值 1。补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和.2,供给洁净室 区 内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。供给非洁净室,区、内每人每小时的新鲜空气量不小于30m3.9,3,5,空调系统的送风。回风和排风系统的启闭连锁。控制要求。应符合现行国家标准、电子工业洁净厂房设计规范。GB、50472的有关规定、9。3。6,满足空气洁净度等级的洁净室送风量,静态。和气流流型宜按表9,3 6计算,表9,3、6,洁净室送风量,静态、和气流流型 注,1、换气次数适用于层高小于4.0m的洁净室 2,室内人员少。热源少时。宜采用下限值.9、3 7,单向流和混合流洁净室的噪声级,空态,不应大于65dB.A 非单向流洁净室的噪声级、窄态,不应大于60dB,A 9、3,8、洁净室的送风方式可分为集中送风、风机过滤机组送风等,9、3 9,电镀。沉铜,棕化 表面处理。蚀刻,清洗.烤板等工序宜设置岗位送风系统。岗位送风系统宜经过过滤。冷却,加热等处理.送风温度宜保持在16、28,9,3,10、空气过滤器的选用.布置应符合下列要求.1 空气净化处理系统应根据空气洁净度等级合理选用空气过滤器、2、空气过滤器处理风量不应大于额定风量。3,中效和高中效空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段。4、亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端,5。同一净化空调系统中末端空气过滤器的阻力,效率 使用风量与额定风量之比值应相近,9 3.11。风机过滤器机组的设置应符合下列要求。1。应根据空气洁净度等级和送风量选用,2,送风量应能调节、3、应便于安装,维修及过滤器更换 9,3,12,干冷却盘管的设置应符合下列要求,1。迎面风速不宜超过2,5m,s,2,空气侧阻力不应大于40Pa,3。布置在同一洁净室,区 内的干冷却盘管,在工作条件下空气侧阻力相差不应大于10、4,冷冻水的供水温度应高于洁净室。区。内的露点温度,5、应设置排水系统.9,3、13,净化空调系统的新风吸入管应设置密闭装置,并应与风机连锁.9、3。14。空调系统采用电加热器时.电加热器与风机应联锁控制、并应设置无风 超温断电保护装置.当采用电加湿器时 应设置无水.无风断电保护装置、寒冷地区.新风系统应设置防冻保护措施,
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