9,3。空气调节与净化9,3 1,印制电路板厂房内的空气洁净度.温度。湿度要求应满足生产工艺的要求。9 3,2、厂房内的车间或区域符合下列情况之一时 空气调节系统宜分开设置 1,对温度、湿度控制要求差别大的房间、2.净化空调系统与一般空调系统.3,容易产生交叉污染的区域或房间,4.工艺设备发热量相差悬殊的不同房间,9、3,3 厂房内洁净室、区,与周围环境应维持一定的压差 不同等级的洁净区之间的静压差不应小于5Pa,洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa,洁净室.区、与室外的静压差不应小于10Pa,9.3。4。生产区空调,净化房间的新鲜空气量应取下列两项中的最大值 1。补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和 2,供给洁净室、区,内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。供给非洁净室,区,内每人每小时的新鲜空气量不小于30m3.9、3、5。空调系统的送风 回风和排风系统的启闭连锁,控制要求。应符合现行国家标准.电子工业洁净厂房设计规范 GB。50472的有关规定,9 3 6.满足空气洁净度等级的洁净室送风量。静态,和气流流型宜按表9,3,6计算 表9,3,6。洁净室送风量。静态,和气流流型、注.1,换气次数适用于层高小于4,0m的洁净室 2 室内人员少、热源少时.宜采用下限值,9 3。7.单向流和混合流洁净室的噪声级,空态、不应大于65dB.A。非单向流洁净室的噪声级,窄态 不应大于60dB、A 9、3,8,洁净室的送风方式可分为集中送风.风机过滤机组送风等.9,3.9 电镀,沉铜 棕化.表面处理。蚀刻.清洗。烤板等工序宜设置岗位送风系统.岗位送风系统宜经过过滤,冷却 加热等处理 送风温度宜保持在16.28,9.3 10 空气过滤器的选用,布置应符合下列要求,1、空气净化处理系统应根据空气洁净度等级合理选用空气过滤器,2,空气过滤器处理风量不应大于额定风量、3.中效和高中效空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段、4.亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端.5。同一净化空调系统中末端空气过滤器的阻力、效率、使用风量与额定风量之比值应相近.9、3、11 风机过滤器机组的设置应符合下列要求。1、应根据空气洁净度等级和送风量选用。2,送风量应能调节。3,应便于安装 维修及过滤器更换、9。3。12。干冷却盘管的设置应符合下列要求.1。迎面风速不宜超过2.5m,s 2,空气侧阻力不应大于40Pa 3。布置在同一洁净室 区.内的干冷却盘管,在工作条件下空气侧阻力相差不应大于10。4、冷冻水的供水温度应高于洁净室。区 内的露点温度.5,应设置排水系统.9 3、13。净化空调系统的新风吸入管应设置密闭装置,并应与风机连锁.9、3、14、空调系统采用电加热器时 电加热器与风机应联锁控制 并应设置无风。超温断电保护装置、当采用电加湿器时、应设置无水,无风断电保护装置.寒冷地区。新风系统应设置防冻保护措施,