9 3。空气调节与净化9。3、1.印制电路板厂房内的空气洁净度,温度。湿度要求应满足生产工艺的要求 9 3,2.厂房内的车间或区域符合下列情况之一时.空气调节系统宜分开设置.1.对温度,湿度控制要求差别大的房间、2 净化空调系统与一般空调系统,3.容易产生交叉污染的区域或房间,4.工艺设备发热量相差悬殊的不同房间、9,3,3。厂房内洁净室.区.与周围环境应维持一定的压差,不同等级的洁净区之间的静压差不应小于5Pa。洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa,洁净室,区,与室外的静压差不应小于10Pa、9 3.4.生产区空调。净化房间的新鲜空气量应取下列两项中的最大值,1 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和.2.供给洁净室,区,内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3,供给非洁净室.区,内每人每小时的新鲜空气量不小于30m3,9。3。5.空调系统的送风、回风和排风系统的启闭连锁.控制要求.应符合现行国家标准、电子工业洁净厂房设计规范 GB。50472的有关规定,9 3,6,满足空气洁净度等级的洁净室送风量、静态、和气流流型宜按表9.3、6计算、表9,3、6.洁净室送风量,静态,和气流流型,注、1,换气次数适用于层高小于4,0m的洁净室、2,室内人员少,热源少时、宜采用下限值、9 3,7,单向流和混合流洁净室的噪声级。空态、不应大于65dB,A、非单向流洁净室的噪声级.窄态,不应大于60dB A,9,3,8.洁净室的送风方式可分为集中送风 风机过滤机组送风等、9 3 9.电镀.沉铜,棕化、表面处理、蚀刻。清洗、烤板等工序宜设置岗位送风系统,岗位送风系统宜经过过滤 冷却。加热等处理.送风温度宜保持在16 28 9 3。10,空气过滤器的选用.布置应符合下列要求 1,空气净化处理系统应根据空气洁净度等级合理选用空气过滤器.2 空气过滤器处理风量不应大于额定风量。3,中效和高中效空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段 4、亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端、5.同一净化空调系统中末端空气过滤器的阻力 效率,使用风量与额定风量之比值应相近。9.3。11 风机过滤器机组的设置应符合下列要求。1、应根据空气洁净度等级和送风量选用,2、送风量应能调节,3。应便于安装,维修及过滤器更换,9.3.12.干冷却盘管的设置应符合下列要求,1,迎面风速不宜超过2,5m.s,2。空气侧阻力不应大于40Pa 3 布置在同一洁净室。区,内的干冷却盘管 在工作条件下空气侧阻力相差不应大于10,4.冷冻水的供水温度应高于洁净室。区,内的露点温度,5、应设置排水系统 9,3、13.净化空调系统的新风吸入管应设置密闭装置。并应与风机连锁,9.3,14。空调系统采用电加热器时。电加热器与风机应联锁控制.并应设置无风、超温断电保护装置,当采用电加湿器时,应设置无水。无风断电保护装置.寒冷地区.新风系统应设置防冻保护措施
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