9、3.空气调节与净化9 3、1 印制电路板厂房内的空气洁净度。温度 湿度要求应满足生产工艺的要求 9,3,2 厂房内的车间或区域符合下列情况之一时 空气调节系统宜分开设置.1 对温度.湿度控制要求差别大的房间,2,净化空调系统与一般空调系统、3，容易产生交叉污染的区域或房间.4。工艺设备发热量相差悬殊的不同房间，9。3。3 厂房内洁净室,区。与周围环境应维持一定的压差 不同等级的洁净区之间的静压差不应小于5Pa 洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa.洁净室,区、与室外的静压差不应小于10Pa，9，3，4、生产区空调。净化房间的新鲜空气量应取下列两项中的最大值、1.补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和,2,供给洁净室、区.内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3、供给非洁净室。区。内每人每小时的新鲜空气量不小于30m3、9。3 5.空调系统的送风 回风和排风系统的启闭连锁、控制要求,应符合现行国家标准、电子工业洁净厂房设计规范、GB。50472的有关规定。9、3 6、满足空气洁净度等级的洁净室送风量 静态 和气流流型宜按表9,3，6计算,表9,3，6,洁净室送风量，静态 和气流流型 注，1,换气次数适用于层高小于4。0m的洁净室.2，室内人员少 热源少时，宜采用下限值,9.3，7,单向流和混合流洁净室的噪声级,空态，不应大于65dB、A。非单向流洁净室的噪声级、窄态、不应大于60dB、A。9，3，8、洁净室的送风方式可分为集中送风 风机过滤机组送风等。9,3、9,电镀、沉铜,棕化、表面处理.蚀刻、清洗,烤板等工序宜设置岗位送风系统、岗位送风系统宜经过过滤，冷却.加热等处理 送风温度宜保持在16。28。9，3、10.空气过滤器的选用。布置应符合下列要求。1 空气净化处理系统应根据空气洁净度等级合理选用空气过滤器 2、空气过滤器处理风量不应大于额定风量.3、中效和高中效空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段，4、亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端。5。同一净化空调系统中末端空气过滤器的阻力，效率，使用风量与额定风量之比值应相近.9。3 11，风机过滤器机组的设置应符合下列要求、1、应根据空气洁净度等级和送风量选用、2 送风量应能调节、3、应便于安装。维修及过滤器更换 9、3，12、干冷却盘管的设置应符合下列要求、1.迎面风速不宜超过2，5m s.2、空气侧阻力不应大于40Pa，3.布置在同一洁净室，区。内的干冷却盘管,在工作条件下空气侧阻力相差不应大于10，4,冷冻水的供水温度应高于洁净室、区,内的露点温度，5.应设置排水系统、9。3 13，净化空调系统的新风吸入管应设置密闭装置 并应与风机连锁、9.3.14,空调系统采用电加热器时、电加热器与风机应联锁控制.并应设置无风，超温断电保护装置.当采用电加湿器时 应设置无水,无风断电保护装置。寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施.