9 3,空气调节与净化9.3.1。印制电路板厂房内的空气洁净度。温度 湿度要求应满足生产工艺的要求、9,3.2 厂房内的车间或区域符合下列情况之一时 空气调节系统宜分开设置。1。对温度。湿度控制要求差别大的房间 2。净化空调系统与一般空调系统、3、容易产生交叉污染的区域或房间.4。工艺设备发热量相差悬殊的不同房间 9,3、3,厂房内洁净室.区、与周围环境应维持一定的压差。不同等级的洁净区之间的静压差不应小于5Pa。洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa、洁净室、区,与室外的静压差不应小于10Pa。9,3、4,生产区空调 净化房间的新鲜空气量应取下列两项中的最大值.1.补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和,2.供给洁净室、区。内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3,供给非洁净室,区,内每人每小时的新鲜空气量不小于30m3 9,3 5 空调系统的送风.回风和排风系统的启闭连锁。控制要求、应符合现行国家标准 电子工业洁净厂房设计规范,GB 50472的有关规定 9 3.6.满足空气洁净度等级的洁净室送风量.静态.和气流流型宜按表9.3,6计算、表9 3.6、洁净室送风量.静态,和气流流型 注.1。换气次数适用于层高小于4,0m的洁净室 2.室内人员少、热源少时,宜采用下限值.9.3、7,单向流和混合流洁净室的噪声级。空态。不应大于65dB。A.非单向流洁净室的噪声级。窄态,不应大于60dB,A、9。3,8,洁净室的送风方式可分为集中送风,风机过滤机组送风等 9 3,9 电镀。沉铜,棕化、表面处理,蚀刻、清洗 烤板等工序宜设置岗位送风系统,岗位送风系统宜经过过滤 冷却 加热等处理,送风温度宜保持在16 28.9。3.10。空气过滤器的选用 布置应符合下列要求、1。空气净化处理系统应根据空气洁净度等级合理选用空气过滤器。2,空气过滤器处理风量不应大于额定风量,3。中效和高中效空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段、4。亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端,5 同一净化空调系统中末端空气过滤器的阻力 效率、使用风量与额定风量之比值应相近.9。3,11 风机过滤器机组的设置应符合下列要求,1 应根据空气洁净度等级和送风量选用,2,送风量应能调节、3.应便于安装.维修及过滤器更换,9。3。12.干冷却盘管的设置应符合下列要求、1,迎面风速不宜超过2、5m,s.2 空气侧阻力不应大于40Pa,3。布置在同一洁净室、区、内的干冷却盘管、在工作条件下空气侧阻力相差不应大于10、4,冷冻水的供水温度应高于洁净室,区.内的露点温度.5 应设置排水系统,9。3,13、净化空调系统的新风吸入管应设置密闭装置,并应与风机连锁,9,3,14.空调系统采用电加热器时、电加热器与风机应联锁控制。并应设置无风,超温断电保护装置.当采用电加湿器时 应设置无水。无风断电保护装置 寒冷地区.新风系统应设置防冻保护措施