9.3,空气调节与净化9、3.1,印制电路板厂房内的空气洁净度,温度,湿度要求应满足生产工艺的要求,9.3 2,厂房内的车间或区域符合下列情况之一时 空气调节系统宜分开设置 1.对温度,湿度控制要求差别大的房间.2,净化空调系统与一般空调系统.3、容易产生交叉污染的区域或房间 4,工艺设备发热量相差悬殊的不同房间,9,3,3 厂房内洁净室、区、与周围环境应维持一定的压差,不同等级的洁净区之间的静压差不应小于5Pa 洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。洁净室,区、与室外的静压差不应小于10Pa,9,3。4 生产区空调。净化房间的新鲜空气量应取下列两项中的最大值,1,补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和,2。供给洁净室,区、内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3 供给非洁净室,区.内每人每小时的新鲜空气量不小于30m3、9.3。5、空调系统的送风,回风和排风系统的启闭连锁,控制要求,应符合现行国家标准、电子工业洁净厂房设计规范。GB,50472的有关规定.9、3.6。满足空气洁净度等级的洁净室送风量、静态,和气流流型宜按表9,3。6计算.表9、3.6,洁净室送风量,静态.和气流流型,注 1,换气次数适用于层高小于4,0m的洁净室、2,室内人员少、热源少时.宜采用下限值,9,3,7,单向流和混合流洁净室的噪声级、空态,不应大于65dB,A,非单向流洁净室的噪声级。窄态.不应大于60dB。A,9,3.8.洁净室的送风方式可分为集中送风、风机过滤机组送风等.9 3 9,电镀。沉铜,棕化,表面处理,蚀刻。清洗、烤板等工序宜设置岗位送风系统,岗位送风系统宜经过过滤。冷却 加热等处理,送风温度宜保持在16,28、9,3 10.空气过滤器的选用,布置应符合下列要求。1、空气净化处理系统应根据空气洁净度等级合理选用空气过滤器.2 空气过滤器处理风量不应大于额定风量,3.中效和高中效空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段,4 亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端。5。同一净化空调系统中末端空气过滤器的阻力,效率 使用风量与额定风量之比值应相近,9、3 11、风机过滤器机组的设置应符合下列要求,1,应根据空气洁净度等级和送风量选用,2.送风量应能调节,3.应便于安装 维修及过滤器更换 9、3 12,干冷却盘管的设置应符合下列要求,1,迎面风速不宜超过2,5m、s,2 空气侧阻力不应大于40Pa,3,布置在同一洁净室 区。内的干冷却盘管 在工作条件下空气侧阻力相差不应大于10。4.冷冻水的供水温度应高于洁净室 区,内的露点温度。5,应设置排水系统、9,3 13。净化空调系统的新风吸入管应设置密闭装置。并应与风机连锁。9。3,14.空调系统采用电加热器时 电加热器与风机应联锁控制、并应设置无风.超温断电保护装置、当采用电加湿器时、应设置无水。无风断电保护装置。寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施,
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