9，3,空气调节与净化9,3、1，印制电路板厂房内的空气洁净度、温度.湿度要求应满足生产工艺的要求.9.3.2，厂房内的车间或区域符合下列情况之一时，空气调节系统宜分开设置.1,对温度，湿度控制要求差别大的房间、2，净化空调系统与一般空调系统.3,容易产生交叉污染的区域或房间 4.工艺设备发热量相差悬殊的不同房间 9、3.3。厂房内洁净室,区。与周围环境应维持一定的压差.不同等级的洁净区之间的静压差不应小于5Pa、洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa,洁净室,区.与室外的静压差不应小于10Pa.9。3。4,生产区空调。净化房间的新鲜空气量应取下列两项中的最大值。1.补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和 2，供给洁净室。区,内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3,供给非洁净室,区.内每人每小时的新鲜空气量不小于30m3,9 3、5 空调系统的送风、回风和排风系统的启闭连锁、控制要求。应符合现行国家标准.电子工业洁净厂房设计规范 GB，50472的有关规定。9，3.6。满足空气洁净度等级的洁净室送风量.静态 和气流流型宜按表9 3.6计算，表9 3、6。洁净室送风量、静态。和气流流型.注。1 换气次数适用于层高小于4。0m的洁净室，2，室内人员少 热源少时.宜采用下限值.9、3,7，单向流和混合流洁净室的噪声级 空态 不应大于65dB。A，非单向流洁净室的噪声级。窄态,不应大于60dB，A 9、3、8、洁净室的送风方式可分为集中送风，风机过滤机组送风等。9.3，9.电镀、沉铜。棕化、表面处理 蚀刻,清洗，烤板等工序宜设置岗位送风系统。岗位送风系统宜经过过滤，冷却、加热等处理,送风温度宜保持在16,28.9.3、10 空气过滤器的选用、布置应符合下列要求。1。空气净化处理系统应根据空气洁净度等级合理选用空气过滤器 2 空气过滤器处理风量不应大于额定风量。3,中效和高中效空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段.4、亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端 5 同一净化空调系统中末端空气过滤器的阻力.效率、使用风量与额定风量之比值应相近，9.3 11、风机过滤器机组的设置应符合下列要求,1。应根据空气洁净度等级和送风量选用 2。送风量应能调节 3。应便于安装。维修及过滤器更换.9.3、12.干冷却盘管的设置应符合下列要求。1 迎面风速不宜超过2、5m。s,2 空气侧阻力不应大于40Pa,3。布置在同一洁净室 区.内的干冷却盘管，在工作条件下空气侧阻力相差不应大于10，4、冷冻水的供水温度应高于洁净室.区,内的露点温度 5,应设置排水系统 9.3,13,净化空调系统的新风吸入管应设置密闭装置,并应与风机连锁，9，3。14、空调系统采用电加热器时.电加热器与风机应联锁控制 并应设置无风,超温断电保护装置 当采用电加湿器时，应设置无水，无风断电保护装置，寒冷地区，新风系统应设置防冻保护措施，