9 3 空气调节与净化9,3.1、印制电路板厂房内的空气洁净度,温度.湿度要求应满足生产工艺的要求.9,3。2、厂房内的车间或区域符合下列情况之一时,空气调节系统宜分开设置 1、对温度,湿度控制要求差别大的房间。2,净化空调系统与一般空调系统 3,容易产生交叉污染的区域或房间,4、工艺设备发热量相差悬殊的不同房间。9,3,3、厂房内洁净室、区.与周围环境应维持一定的压差、不同等级的洁净区之间的静压差不应小于5Pa、洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa 洁净室.区、与室外的静压差不应小于10Pa 9 3、4,生产区空调、净化房间的新鲜空气量应取下列两项中的最大值。1、补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和,2,供给洁净室.区、内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。供给非洁净室.区。内每人每小时的新鲜空气量不小于30m3。9。3。5、空调系统的送风,回风和排风系统的启闭连锁 控制要求。应符合现行国家标准 电子工业洁净厂房设计规范、GB.50472的有关规定,9.3 6 满足空气洁净度等级的洁净室送风量、静态 和气流流型宜按表9 3。6计算.表9 3,6,洁净室送风量 静态,和气流流型,注,1,换气次数适用于层高小于4、0m的洁净室,2,室内人员少,热源少时。宜采用下限值 9.3,7,单向流和混合流洁净室的噪声级.空态,不应大于65dB.A.非单向流洁净室的噪声级,窄态 不应大于60dB。A,9,3。8,洁净室的送风方式可分为集中送风 风机过滤机组送风等.9,3、9.电镀.沉铜、棕化、表面处理。蚀刻。清洗,烤板等工序宜设置岗位送风系统。岗位送风系统宜经过过滤,冷却 加热等处理.送风温度宜保持在16 28.9,3。10.空气过滤器的选用。布置应符合下列要求.1。空气净化处理系统应根据空气洁净度等级合理选用空气过滤器,2、空气过滤器处理风量不应大于额定风量.3,中效和高中效空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段,4,亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端、5、同一净化空调系统中末端空气过滤器的阻力,效率。使用风量与额定风量之比值应相近、9。3,11.风机过滤器机组的设置应符合下列要求,1 应根据空气洁净度等级和送风量选用.2。送风量应能调节 3,应便于安装。维修及过滤器更换,9 3。12、干冷却盘管的设置应符合下列要求、1 迎面风速不宜超过2.5m s、2.空气侧阻力不应大于40Pa,3,布置在同一洁净室。区,内的干冷却盘管 在工作条件下空气侧阻力相差不应大于10,4.冷冻水的供水温度应高于洁净室。区。内的露点温度,5,应设置排水系统,9 3.13、净化空调系统的新风吸入管应设置密闭装置.并应与风机连锁,9。3。14.空调系统采用电加热器时,电加热器与风机应联锁控制,并应设置无风,超温断电保护装置,当采用电加湿器时 应设置无水 无风断电保护装置,寒冷地区。新风系统应设置防冻保护措施.
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