8.5.精密设备及仪器隔振工程施工质量验收8.5 1，隔振工程施工质量验收应包括防微振基台，空气弹簧隔振装置及主动控制隔振装置的工程施工质量验收，8 5 2 洁净厂房精密设备防微振基台的施工质量应符合下列规定 1，应结合厂房结构的土建误差安装防微振基台.2、应在防微振基台周围设置隔振缝,缝宽宜为10mm.15mm.3.防微振基台台板下设置隔振器时、应计算工艺设备安装后隔振器的压缩量.安装完成后的台板顶面标高应满足工艺设备的使用要求、4 防微振基台台板下无隔振器时。台板应与支撑系统刚性连接,8 5。3.防微振基台工程的施工质量检验标准应符合表8，5，3的规定 表8，5,3.防微振基台工程的施工质量检验标准8、5，4。空气弹簧隔振装置的质量检验标准应符合表8 5。4的规定，表8 5.4.空气弹簧隔振装置的质量检验标准8,5 5.主动控制隔振装置的质量检验标准应符合表8,5.5的规定 表8、5。5、主动控制隔振装置的质量检验标准,注。主动隔振装置安装精度应符合主动控制隔振装置供应商在技术规格书中的具体要求。但不应低于本规范要求.