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- 电子工业纯水系统安装与验收规范 GB 51035-2014
- 1 总 则
- 2 术语和缩略语
- 3 设备安装
- 4 配管工程
- 5 电气工程
- 6 系统调试及测试
- 7 工程验收
- 附录A 纯水系统主要测试项目
- 附录B 纯水系统主要指标测试方法
- B.1 电 阻 率
- B.2 二氧化硅
- B.3 颗 粒 度
- B.4 细 菌
- B.5 总有机碳（TOC）
- B.6 溶解氧（DO）
- B.7 金属离子
- B.8 阴 离 子
- B.9 淤塞指数（SDI15）
- B.10 余 氯
- B.11 硬 度
- B.12 酸碱度（pH值）
- 附录C 工程质量验收记录用表
- 本规范用词说明
- 引用标准名录
- 条文说明
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B 3、颗,粒,度B 3 1、纯水系统颗粒度测试宜采用在线式超纯水颗粒计数仪检测、B 3,2。颗粒度测试点应符合设计参数要求，B。3，3.测试仪器最小测试粒径应小于或等于纯水系统主控粒径,B、3,4，颗粒度测试方法应符合下列要求。1,采用PE或PFA软管从测试采样点取水样接至颗粒计数仪 2，距离较远时 应采用与采用点同材质的管路作为引入管引水至计数仪附近,再采用PE或PFA软管接至计数仪取样、检测、3,颗粒计数仪接入管路后 应包括引入管及PE或PFA软管在内的连接管路需经过充分冲洗、循环，直至测试数据逐步趋于稳定后方可正式读数、4，颗粒计数仪的操作应遵循仪器操作说明书要求，5,观察颗粒计数仪显示界面显示的数据。即为该测试点的颗粒度,B.3。5，采用取样离线测试时，测试方法应符合现行国家标准，电子级水中微粒的仪器测试方法。GB T、11446。9的有关规定、