4,精密仪器和设备4、1 精密加工与检测设备4。1、1，本条给出了部分以时域示值的精密加工设备的容许振动值。并明确是以时域的峰值表示、4 1，2,本标准规定的容许振动值有如下特点,1,由于精密仪器与设备本身是一个多自由度的复杂弹性系统。自身具有多个固有振动频率及阻尼比.当外界振动频率与某个固有振动频率一致时、系统产生共振 会影响其正常工作。而对于外界环境振动 经大量实例及研究结果证明、是一种平稳随机振动过程 本身含有丰富的简谐振动频率。为了确保仪器及设备的正常工作,对外界环境中存在各种不同频率的振动幅值进行限制，以减弱因共振等产生振动影响的做法是较为科学的 因此。本条规定的容许振动值均采用频域表达,2，频域采用1.3倍频程中心频率的幅值表示。这是因为对于随机振动频谱 采用1.3倍频程带宽的能量来描述随机振动幅值大小是合适的、同时、设备制造提供的容许振动值也基本采用1 3倍频程的中心频率值表示，3。由于随机振动能量分布在较宽的频率范围内 用峰值描述难以反映随机振动的特性。采用均方根值有利于数据的检验及比对.因此本条规定的容许振动值采用频域均方根值，4。由于普通的精密仪器与设备对于4Hz以下频段的振动不敏感,因此不考虑其振动影响。对于4Hz、8Hz，频段、则反映为对振动加速度敏感、因此采用振动加速度作为控制指标 但对于控制精度较高的集成电路 激光装置、纳米加工等、其研发。加工与试验用仪器及设备的自身即带有空气弹簧隔振装置、而它们的固有振动频率往往在1Hz,3Hz、为了降低这些频段的振动响应.将容许振动值的频段范围延至1Hz，也即提高了对低频段的振动限值要求。本条明确了电子工厂.纳米实验室及物理实验室用精密仪器与设备以频域的1，3倍频程均方根值作为容许振动标准的限值 且不同频段以不同的物理量示值,4.1.3，通常大中型三坐标测量机。特别是大型悬臂式测量机容易受到环境振动影响，由于设备与被测工件较大，测量机布置位置相对固定。需要安装在专门的地基基础上.对基础振动有一定要求,当测量机对测量精度有特殊要求时,需要根据设备的具体要求专门设计地基基础，或采取必要的减振和隔振措施，根据三坐标测量机厂家提供的测量机对环境振动的要求.以及对三坐标测量机测试结构系统的动力分析发现,三坐标测量机的一阶固有频率多在10Hz 30Hz范围内、在此区间的环境振动容易引起测试机构共振.影响测量精度.在通常情况下。只要确保8Hz，100Hz范围内的基础振动符合设备使用条件、就能保证测量精度不受振动影响.而多数三坐标测量机要求的频率范围是0,5Hz，100Hz 在这个频率区间内控制好环境振动.应该更能确保三坐标测量精度,这样的要求也更加保险、测量值应取平均幅值、测量的波峰因数应小于6、由于三坐标测量机的型式种类非常多、不同厂家不同机型的容许振动限值也不一样,根据数十台三坐标测量机的技术条件，在确保80。保证率的前提下.提出了三坐标基础的容许振动限值、对于少数有特殊要求的三坐标测量机，则需要根据具体设备的要求设计基础,位移限值主要用于低频振动控制。加速度限值用于高频振动控制。对于10Hz、30Hz范围的振动要求较严格一些。当频率大于100Hz时.振动控制相对容易一些、有些较低精度三坐标测量机的振动要求可以达到300mm、s2，考虑到本标准其他章节的限值条件.容许振动加速度值均控制在200mm.s2、300mm、s2.在实际应用中,可以根据具体测量机的要求对技术指标作适当调整,图2是三坐标测量机对环境振动的要求，图2。三坐标测量机的容许振动值