4、精密仪器和设备4,1。精密加工与检测设备4、1。1 本条给出了部分以时域示值的精密加工设备的容许振动值,并明确是以时域的峰值表示.4,1。2,本标准规定的容许振动值有如下特点.1、由于精密仪器与设备本身是一个多自由度的复杂弹性系统。自身具有多个固有振动频率及阻尼比,当外界振动频率与某个固有振动频率一致时，系统产生共振，会影响其正常工作。而对于外界环境振动 经大量实例及研究结果证明.是一种平稳随机振动过程，本身含有丰富的简谐振动频率 为了确保仪器及设备的正常工作 对外界环境中存在各种不同频率的振动幅值进行限制。以减弱因共振等产生振动影响的做法是较为科学的.因此、本条规定的容许振动值均采用频域表达、2,频域采用1，3倍频程中心频率的幅值表示.这是因为对于随机振动频谱,采用1，3倍频程带宽的能量来描述随机振动幅值大小是合适的、同时、设备制造提供的容许振动值也基本采用1 3倍频程的中心频率值表示。3，由于随机振动能量分布在较宽的频率范围内、用峰值描述难以反映随机振动的特性，采用均方根值有利于数据的检验及比对。因此本条规定的容许振动值采用频域均方根值，4。由于普通的精密仪器与设备对于4Hz以下频段的振动不敏感，因此不考虑其振动影响。对于4Hz,8Hz，频段，则反映为对振动加速度敏感,因此采用振动加速度作为控制指标,但对于控制精度较高的集成电路,激光装置。纳米加工等。其研发,加工与试验用仪器及设备的自身即带有空气弹簧隔振装置.而它们的固有振动频率往往在1Hz。3Hz 为了降低这些频段的振动响应,将容许振动值的频段范围延至1Hz 也即提高了对低频段的振动限值要求。本条明确了电子工厂，纳米实验室及物理实验室用精密仪器与设备以频域的1,3倍频程均方根值作为容许振动标准的限值 且不同频段以不同的物理量示值。4.1。3.通常大中型三坐标测量机、特别是大型悬臂式测量机容易受到环境振动影响,由于设备与被测工件较大。测量机布置位置相对固定、需要安装在专门的地基基础上,对基础振动有一定要求、当测量机对测量精度有特殊要求时 需要根据设备的具体要求专门设计地基基础.或采取必要的减振和隔振措施,根据三坐标测量机厂家提供的测量机对环境振动的要求。以及对三坐标测量机测试结构系统的动力分析发现，三坐标测量机的一阶固有频率多在10Hz、30Hz范围内。在此区间的环境振动容易引起测试机构共振,影响测量精度。在通常情况下.只要确保8Hz,100Hz范围内的基础振动符合设备使用条件，就能保证测量精度不受振动影响，而多数三坐标测量机要求的频率范围是0、5Hz，100Hz。在这个频率区间内控制好环境振动，应该更能确保三坐标测量精度,这样的要求也更加保险,测量值应取平均幅值.测量的波峰因数应小于6，由于三坐标测量机的型式种类非常多,不同厂家不同机型的容许振动限值也不一样。根据数十台三坐标测量机的技术条件.在确保80,保证率的前提下 提出了三坐标基础的容许振动限值,对于少数有特殊要求的三坐标测量机，则需要根据具体设备的要求设计基础、位移限值主要用于低频振动控制，加速度限值用于高频振动控制 对于10Hz。30Hz范围的振动要求较严格一些,当频率大于100Hz时.振动控制相对容易一些，有些较低精度三坐标测量机的振动要求可以达到300mm，s2.考虑到本标准其他章节的限值条件 容许振动加速度值均控制在200mm，s2，300mm、s2。在实际应用中,可以根据具体测量机的要求对技术指标作适当调整，图2是三坐标测量机对环境振动的要求 图2、三坐标测量机的容许振动值