4、精密仪器和设备4,1。精密加工与检测设备4.1,1。本条给出了部分以时域示值的精密加工设备的容许振动值,并明确是以时域的峰值表示。4 1,2 本标准规定的容许振动值有如下特点.1,由于精密仪器与设备本身是一个多自由度的复杂弹性系统,自身具有多个固有振动频率及阻尼比 当外界振动频率与某个固有振动频率一致时、系统产生共振.会影响其正常工作,而对于外界环境振动。经大量实例及研究结果证明、是一种平稳随机振动过程。本身含有丰富的简谐振动频率。为了确保仪器及设备的正常工作,对外界环境中存在各种不同频率的振动幅值进行限制 以减弱因共振等产生振动影响的做法是较为科学的。因此,本条规定的容许振动值均采用频域表达.2、频域采用1 3倍频程中心频率的幅值表示,这是因为对于随机振动频谱.采用1,3倍频程带宽的能量来描述随机振动幅值大小是合适的.同时。设备制造提供的容许振动值也基本采用1、3倍频程的中心频率值表示.3,由于随机振动能量分布在较宽的频率范围内。用峰值描述难以反映随机振动的特性,采用均方根值有利于数据的检验及比对,因此本条规定的容许振动值采用频域均方根值.4 由于普通的精密仪器与设备对于4Hz以下频段的振动不敏感、因此不考虑其振动影响。对于4Hz.8Hz,频段、则反映为对振动加速度敏感。因此采用振动加速度作为控制指标.但对于控制精度较高的集成电路 激光装置.纳米加工等。其研发,加工与试验用仪器及设备的自身即带有空气弹簧隔振装置,而它们的固有振动频率往往在1Hz。3Hz,为了降低这些频段的振动响应。将容许振动值的频段范围延至1Hz,也即提高了对低频段的振动限值要求,本条明确了电子工厂,纳米实验室及物理实验室用精密仪器与设备以频域的1、3倍频程均方根值作为容许振动标准的限值、且不同频段以不同的物理量示值。4.1、3,通常大中型三坐标测量机 特别是大型悬臂式测量机容易受到环境振动影响。由于设备与被测工件较大、测量机布置位置相对固定,需要安装在专门的地基基础上.对基础振动有一定要求,当测量机对测量精度有特殊要求时。需要根据设备的具体要求专门设计地基基础。或采取必要的减振和隔振措施。根据三坐标测量机厂家提供的测量机对环境振动的要求,以及对三坐标测量机测试结构系统的动力分析发现,三坐标测量机的一阶固有频率多在10Hz 30Hz范围内。在此区间的环境振动容易引起测试机构共振、影响测量精度.在通常情况下。只要确保8Hz,100Hz范围内的基础振动符合设备使用条件 就能保证测量精度不受振动影响、而多数三坐标测量机要求的频率范围是0,5Hz 100Hz,在这个频率区间内控制好环境振动 应该更能确保三坐标测量精度。这样的要求也更加保险。测量值应取平均幅值、测量的波峰因数应小于6 由于三坐标测量机的型式种类非常多,不同厂家不同机型的容许振动限值也不一样。根据数十台三坐标测量机的技术条件 在确保80.保证率的前提下。提出了三坐标基础的容许振动限值,对于少数有特殊要求的三坐标测量机,则需要根据具体设备的要求设计基础.位移限值主要用于低频振动控制.加速度限值用于高频振动控制,对于10Hz。30Hz范围的振动要求较严格一些,当频率大于100Hz时。振动控制相对容易一些,有些较低精度三坐标测量机的振动要求可以达到300mm。s2 考虑到本标准其他章节的限值条件 容许振动加速度值均控制在200mm,s2。300mm,s2.在实际应用中,可以根据具体测量机的要求对技术指标作适当调整,图2是三坐标测量机对环境振动的要求.图2,三坐标测量机的容许振动值

页面正在加载中,点此刷新

批注书签自动云同步,随时随地查阅更便捷!

建标库的PC电脑版Android版iPhone版,已全面支持“云批注和云书签”功能。您可以在下载最新版客户端后,立即体验。

在各客户端的资源阅读界面,选中相应的文字内容后,自动弹出云批注菜单;填写相应的信息保存,自动云存储;其它设备随时可查看。

复制 搜索 分享

"大量文字复制"等功能仅限VIP会员使用,您可以选择以下方式解决:

1、选择少量文本,重新进行复制操作

2、开通VIP,享受下载海量资源、文字任意复制等特权

支持平台发展,开通VIP服务
QQ好友 微信 百度贴吧 新浪微博 QQ空间 更多