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4 精密仪器和设备4 1,精密加工与检测设备4、1、1,精密加工设备在时域范围内的容许振动值.宜按表4。1。1的规定确定、4,1.2,电子工厂,纳米实验室及物理实验室用精密仪器和设备在频域范围内1,3倍频程的容许振动值.宜按表4,1。2的规定确定,注。当频率重叠时。应同时满足两个频率区间上的容许振动要求.4,1、3 三坐标测量机在频域范围内的容许振动值,宜按表4,1。3的规定确定,注 1、本表适用于测量范围在500mm 2000mm的三坐标测量机。2,ε为测量精度。L为三坐标测量机的最大量程,3,表中30Hz 50Hz之间数值可采用线性插值计算
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