4 精密仪器和设备4，1、精密加工与检测设备4。1、1，精密加工设备在时域范围内的容许振动值，宜按表4、1。1的规定确定.4，1。2，电子工厂.纳米实验室及物理实验室用精密仪器和设备在频域范围内1.3倍频程的容许振动值.宜按表4.1,2的规定确定、注,当频率重叠时,应同时满足两个频率区间上的容许振动要求 4.1,3,三坐标测量机在频域范围内的容许振动值.宜按表4.1，3的规定确定、注,1。本表适用于测量范围在500mm。2000mm的三坐标测量机 2，ε为测量精度。L为三坐标测量机的最大量程，3 表中30Hz。50Hz之间数值可采用线性插值计算,