4,精密仪器和设备4。1、精密加工与检测设备4 1.1。精密加工设备在时域范围内的容许振动值.宜按表4、1，1的规定确定、4，1 2 电子工厂 纳米实验室及物理实验室用精密仪器和设备在频域范围内1,3倍频程的容许振动值.宜按表4,1 2的规定确定.注.当频率重叠时,应同时满足两个频率区间上的容许振动要求、4 1.3、三坐标测量机在频域范围内的容许振动值,宜按表4。1。3的规定确定、注，1.本表适用于测量范围在500mm.2000mm的三坐标测量机。2 ε为测量精度.L为三坐标测量机的最大量程.3.表中30Hz 50Hz之间数值可采用线性插值计算.